合肥升滕半导体技术有限公司王永东获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥升滕半导体技术有限公司申请的专利一种真空静电吸盘的氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120796984B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511240028.7,技术领域涉及:C23C28/00;该发明授权一种真空静电吸盘的氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用是由王永东;胡超;卢永秀;陈磊;张高伟设计研发完成,并于2025-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空静电吸盘的氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用在说明书摘要公布了:本发明涉及涂层技术领域,尤其涉及一种真空静电吸盘的氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用,包括导电底层和陶瓷面层,导电底层按重量份数计包括以下原料:导电相添加剂3‑8份、聚乙二醇硬脂酸酯2‑4份和碳化硅晶须1‑3份,陶瓷面层按重量份数计包括以下原料:α‑氧化铝粉体85‑92份、硼硅酸盐玻璃粉4‑10份、氧化镁0.5‑2份、氧化锆1‑3份和聚乙二醇3‑5份。本发明制得的涂层的导电特性、力学耐用性与环境适应性相互配合,有助于延长真空静电吸盘的使用周期,减少设备维护频率,具有良好的导电性、耐磨性和附着强度。
本发明授权一种真空静电吸盘的氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种真空静电吸盘的氧化铝陶瓷涂层,其特征在于,包括导电底层和陶瓷面层,导电底层按重量份数计包括以下原料:导电相添加剂3‑8份、聚乙二醇硬脂酸酯2‑4份和碳化硅晶须1‑3份; 陶瓷面层按重量份数计包括以下原料:α‑氧化铝粉体85‑92份、硼硅酸盐玻璃粉4‑10份、氧化镁0.5‑2份、氧化锆1‑3份和聚乙二醇3‑5份; 其中,导电相添加剂为聚合物包覆氧化锡的复合粉末,聚合物由丙烯酸羟丙酯、丙烯酸异冰片酯和二乙烯基苯通过聚合反应制得; 导电相添加剂的制备步骤具体包括: a将氧化锡纳米粉分散于无水乙醇中,加入琥珀辛酯磺酸钠,形成溶胶; b将丙烯酸羟丙酯、丙烯酸异冰片酯和二乙烯基苯混合脱氧,得到单体混合液; c将溶胶和单体混合液混合,加入硅烷偶联剂,加入引发剂进行聚合反应,经阶梯固化,得到导电相添加剂; 步骤a中氧化锡纳米粉、琥珀辛酯磺酸钠和无水乙醇的质量比为8‑9.5:1:160‑170; 步骤b中丙烯酸异冰片酯、丙烯酸羟丙酯和二乙烯基苯的质量比为17‑20:5‑7: 1.5‑3; 步骤c中聚合反应的温度为65‑75℃,聚合反应的时间为4‑8h; 步骤c中引发剂选自偶氮二异丁腈、过氧化苯甲酰或偶氮二异庚腈中的至少一种,加入量为丙烯酸羟丙酯和丙烯酸异冰片酯总质量的1‑3%。
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