湖南联合半导体科技有限公司王良均获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南联合半导体科技有限公司申请的专利一种用于CVD的供气系统及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120796946B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511293199.6，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权一种用于CVD的供气系统及控制方法是由王良均;陈铭辉;李玥;谢红玉设计研发完成，并于2025-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于CVD的供气系统及控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于CVD的供气系统及控制方法，供气系统包括储料罐和鼓泡罐，储料罐和鼓泡罐通过进液管道连通，鼓泡罐还设置有载气管道和出气管道，载气管道的出口位于鼓泡罐的液面之下，出气管道的入口位于鼓泡罐的液面之上；还包括有补料罐，补料罐与储料罐通过补料管道连通，补料罐和鼓泡罐通过补气管道连通，补气管道的入口位于补料罐的液面之上，补气管道的出口位于鼓泡罐的液面之上；补料罐设置有第一保温夹套，鼓泡罐设置有第二保温夹套。本发明能够实现长时间不间断为CVD工艺供应液体原料，不受工艺时间长短限制，尤其适用涂层较厚的CVD工艺。
本发明授权一种用于CVD的供气系统及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种用于CVD的供气系统，其包括储料罐和鼓泡罐，所述储料罐和所述鼓泡罐通过进液管道连通，所述鼓泡罐还设置有载气管道和出气管道，所述载气管道的出口位于所述鼓泡罐的液面之下，所述出气管道的入口位于所述鼓泡罐的液面之上；其特征在于：还包括有补料罐，所述补料罐与所述储料罐通过补料管道连通，所述补料罐和所述鼓泡罐通过补气管道连通，所述补气管道的入口位于所述补料罐的液面之上，所述补气管道的出口位于所述鼓泡罐的液面之上；所述补料罐设置有第一保温夹套，所述鼓泡罐设置有第二保温夹套； 所述出气管道上设置有气压检测机构； 所述载气管道、出气管道、补料管道、进液管道和补气管道上均设置有阀门。
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