成都成高阀门股份有限公司;成都乘风阀门有限责任公司;成都乘风流体科技集团股份有限公司许世法获国家专利权
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龙图腾网获悉成都成高阀门股份有限公司;成都乘风阀门有限责任公司;成都乘风流体科技集团股份有限公司申请的专利一种TiSiN/TiBC多层阻氢耐磨涂层及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120796932B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511312605.9,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种TiSiN/TiBC多层阻氢耐磨涂层及其制备方法和应用是由许世法;丁珂;蒋杰;张俊;丁骐;王佳文设计研发完成,并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种TiSiN/TiBC多层阻氢耐磨涂层及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种TiSiNTiBC多层阻氢耐磨涂层及其制备方法和应用,属于材料制备技术领域。本发明通过高频脉冲磁控溅射技术在钢基体表面制备TiSiNTiBC多层结构复合的阻氢耐磨涂层,并在钢基体与阻氢涂层之间设计了中间过渡层,该过渡层具有良好的韧性和与基体的适配的热膨胀系数8×10‑6‑12×10‑6℃,有效降低了涂层与钢基体之间的残余应力,提升了阻氢涂层的断裂韧性和结合力,提升了涂层结合力,进而显著提高涂层的耐磨性。同时利用阻氢涂层中含有的大量Si‑键、B‑键、C‑键、N‑键等空位键,可对氢原子进行捕捉,提升对氢原子的捕获能力,进一步抑制氢的渗透作用,显著提高涂层的阻氢效率。
本发明授权一种TiSiN/TiBC多层阻氢耐磨涂层及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种TiSiNTiBC多层阻氢耐磨涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、将基体抛光,然后清洗,得到预处理基体; S2、沉积TiCrNb过渡层:将预处理基体置于真空度为1×10‑1‑3×10‑1Pa的保护性气氛中,在300‑450℃下保温20‑30min,随后将真空度调节至小于1×10‑3Pa,将Ti靶、Cr靶和Nb靶通过溅射沉积,得到厚度为200‑400nm的TiCrNb过渡层,其中Ti含量为55at.%‑75at.%,Cr含量为15at.%‑35at.%,Nb含量为5at.%‑15at.%; S3、沉积TiSiNTiBC阻氢层:沉积全程在保护性气氛中进行,基体温度保持在350‑450℃,真空室压强保持在0.3‑0.7Pa; S31、制备TiSiN涂层:开启Ti靶和Si靶源,其中Ti靶采用直流模式,功率为300‑500W,Si靶采用射频溅射模式,功率为150‑350W;基体负偏压为100‑400V,沉积时间为20‑50min,涂层厚度为100‑250nm,其中Si含量为15at.%‑35at.%; S32、制备TiBC涂层:开启Ti靶、B靶和C靶源,其中Ti靶采用直流模式,功率为300‑500W,C靶采用直流模式,功率为250‑450W,B靶采用射频溅射模式,功率为200‑300W;基体负偏压为100‑400V,沉积时间为20‑50min,涂层厚度为100‑200nm,其中B含量为10at.%‑25at.%; S33、交替制备TiSiN涂层和TiBC涂层6‑20次,最终TiSiNTiBC阻氢层的总厚度为2‑5μm; S4、将S3得到的样品置于真空度小于1×10‑3Pa的环境中,在200‑350℃下退火0.5‑2h,得到TiSiNTiBC多层阻氢耐磨涂层。
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