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龙图腾网获悉西安吉利电子新材料股份有限公司;陕西吉利科技有限公司申请的专利一种半导体产业用氢氟酸精馏塔及精馏方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120789700B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511308753.3，技术领域涉及：B01D3/14；该发明授权一种半导体产业用氢氟酸精馏塔及精馏方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体产业用氢氟酸精馏塔及精馏方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体产业用氢氟酸精馏塔及精馏方法，涉及精馏技术领域，该精馏塔的进气口与汽化器相连接，精馏塔的出气口通过外界冷凝回流系统与喷淋吸收塔相连接，所述精馏塔包括塔盖、塔筒和塔座，所述塔筒设置有若干个，若干个塔筒依次安装在塔盖和塔座之间，每个塔筒内部均设置有若干个塔板，本发明相比于目前的精馏塔设置有调节机构和清理机构，通过调节机构在工作过程中自由调节相邻两个塔板的间距，一方面有效避免雾沫夹带，降低塔板遇到堵塞的风险，另一方面大幅扩展精馏塔的适用范围，当氢氟酸精馏工作结束后，通过调节机构和清理机构的配合，能有效对塔板进行清理，进而降低了工作人员清理精馏塔的频率。

本发明授权一种半导体产业用氢氟酸精馏塔及精馏方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体产业用氢氟酸精馏塔，该精馏塔1的进气口141与汽化器相连接，精馏塔1的出气口111通过外界冷凝回流系统与喷淋吸收塔相连接，其特征在于：所述精馏塔1包括塔盖11、塔筒13和塔座14，所述塔筒13设置有若干个，若干个塔筒13依次安装在塔盖11和塔座14之间，每个塔筒13内部均设置有若干个塔板131，所述进气口141设置在塔座14侧端，所述出气口111设置在塔盖11顶端，所述塔盖11和塔座14内部均设置有一个支撑架112，两个支撑架112之间设置有固定轴132，所述固定轴132贯穿于若干个塔板131，每个塔板131下方均设置有一个调节机构134； 所述调节机构134包括第一调节杆1341、第二调节杆1342和安装座1343，所述安装座1343设置在固定轴132上，所述第一调节杆1341和第二调节杆1342相对设置在安装座1343的两端，所述安装座1343内部设置有驱动组件，所述第一调节杆1341的一端通过第一转轴与驱动组件相连接，所述第一调节杆1341的另一端通过第一连接块与塔板131相连接，所述第二调节杆1342的一端通过第二转轴与驱动组件相连接，所述第二调节杆1342的另一端通过第二连接块与塔板131相连接； 所述驱动组件包括调节电机13432、传动齿轮13433和换向齿轮13434，所述第一转轴上设置有第一调节齿轮13431，所述第二转轴上设置有第二调节齿轮13435，所述第一调节齿轮13431与传动齿轮13433相连接，所述第二调节齿轮13435通过换向齿轮13434与传动齿轮13433相连接，所述调节电机13432工作端与传动齿轮13433相连接； 每个塔板131上方均设置有一个清理机构133，通过清理机构133和调节机构134的配合对塔板131进行清理； 所述清理机构133包括环形罩1331、排气管13311、导气管1332、清理架1333和转盘1334，所述转盘1334设置在固定轴132上，所述导气管1332设置在转盘1334侧端下方，所述清理架1333设置在导气管1332下方，所述环形罩1331设置在转盘1334上方，所述转盘1334内部设置有环形槽，所述环形罩1331的一端插入环形槽内，所述环形罩1331的另一端通过排气管13311与外界风机相连接； 所述环形罩1331与固定轴132固定连接，所述固定轴132内部设置有驱动轴1321，所述转盘1334与驱动轴1321相连接，所述塔盖11内的支撑架112上设置有密封罐113，所述密封罐113内设置有旋转电机，所述旋转电机与驱动轴1321相连接。

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