买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉氟微(上海)新材料有限公司申请的专利一种半导体超高纯流体集成控制模组及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120777384B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511225528.3，技术领域涉及：F16K11/22；该发明授权一种半导体超高纯流体集成控制模组及其制造方法是由蒋律华;华雄飞设计研发完成，并于2025-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体超高纯流体集成控制模组及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及阀门技术领域，具体涉及一种半导体超高纯流体集成控制模组及其制造方法，包括控制单元、密封单元、流道腔和密封座；控制单元线性阵列设置在阀座上，并且在分配通道两侧对称设置有两排；密封单元与控制单元相连接；流道腔对称开设在阀座内并且与分配通道相连接；密封座设置在流道腔内；通过将线密封改进为刚柔PTFE材料搭配的平面密封，以增强耐磨性和抗疲劳性，并且通过设置滑动式的迷宫封板，与膜片块和迷宫密封囊共同构成多层冗余密封，同时设计了与迷宫密封囊连通的泄流孔，当膜片块密封泄漏时，泄漏流体通过泄流孔进入到迷宫密封囊，使其膨胀，形成压力自适应的补偿密封防护；解决了PTFE隔膜阀单线密封易磨损变形失效的问题。

本发明授权一种半导体超高纯流体集成控制模组及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体超高纯流体集成控制模组，包括阀座1和分配通道2，其特征在于：还包括控制单元3、密封单元4、流道腔5和密封座6；所述控制单元3线性阵列设置在阀座1上，并且在分配通道2两侧对称设置有两排；所述密封单元4与控制单元3相连接，控制单元3向上或向下移动时带动密封单元4一同进行向上或向下移动；所述流道腔5对称开设在阀座1内并且与分配通道2相连接；所述密封座6设置在流道腔5内，当密封单元4泄漏时流体进入到密封座6内使其膨胀抵接密封单元4内圈形成压力自适应的补偿密封防护； 所述密封单元4包括膜片块41、封板槽42、迷宫封板43和封板碟簧44；所述膜片块41与阀芯35螺纹连接；所述封板槽42开设在膜片块41底部；所述迷宫封板43滑动安装在封板槽42内，迷宫封板43下部设置有内迷宫环431和外迷宫环432；所述封板碟簧44连接在迷宫封板43与封板槽42之间； 所述密封座6包括固定座61、密封环62、密封碟簧63、泄流孔64和迷宫密封囊65；所述固定座61与流道腔5相连接，固定座61外径与外迷宫环432外径相等，固定座61内径与内迷宫环431内径相等；所述密封环62安装在固定座61上；所述密封碟簧63连接在固定座61底部与密封环62之间；所述泄流孔64开设在固定座61顶部侧壁上；所述迷宫密封囊65与固定座61顶部相连接，迷宫密封囊65为一与泄流孔64连通且中空的、截面为“C”形的结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人氟微(上海)新材料有限公司，其通讯地址为：201600 上海市松江区新桥镇新庙三路728号11幢1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。