南京大学;南京大学深圳研究院周峰获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学;南京大学深圳研究院申请的专利基于脉冲激光协同扫描的芯片辐照损伤识别系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120722170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511187712.3,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权基于脉冲激光协同扫描的芯片辐照损伤识别系统及方法是由周峰;张迈;陆海;徐尉宗;周东;任芳芳设计研发完成,并于2025-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于脉冲激光协同扫描的芯片辐照损伤识别系统及方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于脉冲激光协同扫描的芯片辐照损伤识别系统及方法,所述系统包括:脉冲激光输出模块和协同控制模块;脉冲激光输出模块用于将多路脉冲激光光源输出的激光光路耦合为单条激光光路;系统包括脉冲激光辐照状态和损伤识别状态,协同控制模块用于切换系统的工作状态当切换至脉冲激光辐照状态时,开启脉冲激光输出模块,控制位移台带动放置芯片的样品台移动,使芯片在设定的扫描范围内以设定的扫描精度移动;当切换至损伤识别状态时,开启电磁屏蔽罩以及高灵敏度CCD相机,对芯片施加偏置电压,识别芯片的发光情况,记录芯片的辐照敏感点。本发明能够高效率地得到芯片在脉冲激光辐照前后的损伤分布情况。
本发明授权基于脉冲激光协同扫描的芯片辐照损伤识别系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于脉冲激光协同扫描的芯片辐照损伤识别方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S1:将待测试的芯片固定在样品台上,调节样品台的平面至水平,并调节光线聚焦输出模块的高度,直到可见光光源的光线聚焦在样品表面; 步骤S2:将系统切换至损伤识别模式,开启电磁屏蔽罩以及高灵敏度电荷耦合器件CCD相机,对芯片施加偏置电压,识别芯片的光致敏感发光情况,记录芯片的初始敏感位置; 步骤S3:将系统切换至脉冲激光辐照模式,选择脉冲激光输出模块输出的脉冲激光光源的波长,调节激光能量衰减单元至最大衰减档位,调整施加至芯片的偏置电压的大小,启动位移台,利用位移台带动放置芯片的样品台在设定的扫描范围内以设定的扫描精度进行移动; 步骤S4:在扫描过程中,若芯片某位置的光电流值突变,则停止扫描,记录当前位置的坐标、激光能量、波长及电流异常数据;改变脉冲激光输出模块输出的激光的能量和波长,重复步骤S1至S3,否则进入步骤S5; 步骤S5:关闭脉冲激光输出模块,再次将系统切换至损伤识别模式,识别芯片的光致敏感位置的发光情况,记录芯片在辐照扫描后的敏感和损伤位置,并与步骤S2中得到的初始敏感位置进行对比。
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