湖北鼎龙芯盛科技有限公司;鼎龙(潜江)新材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司张公平获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北鼎龙芯盛科技有限公司;鼎龙(潜江)新材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司申请的专利一种含氟树脂粉末、包含其的光致抗蚀剂组合物及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120704062B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511205103.6，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种含氟树脂粉末、包含其的光致抗蚀剂组合物及其制备方法和应用是由张公平;苏敏光;游怀;陈相见;刘敏设计研发完成，并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种含氟树脂粉末、包含其的光致抗蚀剂组合物及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明提供了一种含氟树脂粉末以及包含其的光致抗蚀剂组合物。通过低温沉降、控制沉降温度和沉降剂添加比例、沉降步骤方法等得到粉末状的含氟树脂，具有残留单体含量低、溶剂残留量少、储存稳定性更好的优点，在浸没式ArF中，能够在顶层阻挡水对光致抗蚀剂有效组分如PAG、Quencher等的浸出，在性能表征分析和储存稳定性上均有明显提升。
本发明授权一种含氟树脂粉末、包含其的光致抗蚀剂组合物及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种含氟树脂粉末的制备方法，其特征在于，包括含氟树脂的合成步骤和含氟树脂的纯化步骤； 所述含氟树脂的纯化具体包括如下步骤： S1：将反应结束后的反应液以及沉降剂进行温度控制，所述温度控制的范围为‑40℃—0℃，所述反应液与沉降剂的温差不高于5℃； S2： 将控制温度后的反应液滴加于沉降剂中，所述反应液与沉降剂的体积比例为1： 3‑20，并在滴加过程中维持搅拌，滴加结束后继续搅拌，搅拌结束后通过离心过滤进行固液分离，最后烘干得到含氟树脂粉末状产品； 所述含氟树脂是由单体M1，单体M2和单体M3反应得到的；所述单体M1具有式I所示结构；所述单体M2具有式II所示结构；所述单体M3具有式III所示结构； 式I 式II 式III其中，所述R5、R6、R7各自独立地选自H、甲基、乙基、异丙基中的一种；所述R1、R2、R4各自独立地选自被取代或未取代的金刚烷基、降冰片烷基、环烷基中的一种；所述R3独立地选自被取代或未取代的亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚苯基中的一种；所述取代的基团选自H、甲基、乙基或异丙基；L为至少一个氢原子被氟原子取代的亚甲基。
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