上海森桓新材料科技有限公司尚家庄获国家专利权
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龙图腾网获悉上海森桓新材料科技有限公司申请的专利一种钝化全氟醚弹性体橡胶、制备方法及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120624985B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511124560.2，技术领域涉及：C23C14/08；该发明授权一种钝化全氟醚弹性体橡胶、制备方法及应用是由尚家庄;张丽娇;顾伟超;修国华设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钝化全氟醚弹性体橡胶、制备方法及应用在说明书摘要公布了：本申请提供一种钝化全氟醚弹性体橡胶、制备方法及应用，钝化全氟醚弹性体橡胶就是将全氟醚弹性体橡胶的表面溅射三氧化二钇钝化层。制备方法包括将全氟醚弹性体橡胶置于真空溅射腔内，采用钇靶材进行溅射处理，形成厚度为10‑100nm的三氧化二钇钝化层，获得钝化的全氟醚弹性体橡胶；对所述钝化的全氟醚弹性体橡胶退火处理以消除表面应力，再清洗干燥备用。本申请的钝化全氟醚弹性体橡胶应用于半导体制程中蚀刻过程，通过溅射三氧化二钇钝化层，可有效提高全氟醚弹性体橡胶制品的耐等离子体刻蚀性能，同时提高其润滑性能。
本发明授权一种钝化全氟醚弹性体橡胶、制备方法及应用在权利要求书中公布了：1.一种钝化全氟醚弹性体橡胶，其特征在于： 包括全氟醚弹性体橡胶，所述全氟醚弹性体橡胶的表面上，溅射有三氧化二钇钝化层； 所述三氧化二钇钝化层的厚度为10‑100 nm，溅射形成的钇氧化物的鳞状结构与全氟醚橡胶的弹性性能相适配，所述鳞状结构的钇氧化物钝化层有效降低了全氟醚橡胶密封材料的摩擦系数，提高了密封件的使用性能； 在所述溅射过程中以氩气和氧气为工作气体，氩气流量为15‑30 cm3min，压力为0.3‑0.6 Pa，氧气流量为45‑150 cm3min，压力为0.9‑3.0 Pa,所述溅射功率50‑300 W。
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