珠海基石科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海基石科技有限公司申请的专利图案化组合物及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120491389B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511000993.7,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权图案化组合物及其应用是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案化组合物及其应用在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种图案化组合物及其应用。该图案化组合物包括含氟主体树脂、光致产酸剂和含氟添加剂,含氟主体树脂包括酸不稳定重复单元、带内酯结构的重复单元和带六氟异丙醇结构的重复单元,含氟主体树脂的上述各重复单元带有脂肪环结构;含氟添加剂包括衍生自带六氟异丙醇结构的含氟单体A的重复单元和衍生自带脂肪环结构的含氟单体B的重复单元。上述图案化组合物的膜层在浸没式曝光时能抗光致产酸剂溶出,并可最终形成形状和分辨率满足要求的图案化薄膜。
本发明授权图案化组合物及其应用在权利要求书中公布了:1.一种图案化组合物,其特征在于,包括含氟主体树脂、光致产酸剂和含氟添加剂,其中,所述含氟主体树脂包括带酸不稳定的脂肪环结构的酸不稳定重复单元、带内酯结构的重复单元和带六氟异丙醇结构的重复单元;所述带六氟异丙醇结构的重复单元还包括与所述六氟异丙醇结构连接的脂肪环结构;且所述含氟主体树脂中所述带六氟异丙醇结构的重复单元的摩尔占比为10%‑20%; 所述含氟添加剂是包括衍生自含氟单体A的重复单元和衍生自含氟单体B的重复单元的聚合物,其中,所述含氟单体A包括六氟异丙醇结构,所述含氟单体B包括脂肪环结构,所述含氟单体B中的脂肪环结构不是酸不稳定的,所述含氟单体A包括式A所示的结构: 式A其中,Ra选自氢原子、氟原子、甲基、或三氟甲基,R1包括六氟异丙醇结构,L1为二价连接基团;所述L1选自含杂原子连接基团的取代或未取代亚烷基、取代或未取代亚环烷基、内酯环中的一种或多种,且所述杂原子连接基团包括‑C=O‑O‑#和‑O‑C=O‑#中的至少一者,#端靠近R1; 所述衍生自含氟单体B的重复单元在所述含氟添加剂中的摩尔占比为45%‑70%。
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