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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种超精密光刻装备执行器故障容错控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120447349B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510523487.X，技术领域涉及：G05B13/02；该发明授权一种超精密光刻装备执行器故障容错控制方法是由宋法质;吴世豪;韦鹏宇;刘杨;谭久彬设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种超精密光刻装备执行器故障容错控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超精密光刻装备执行器故障容错控制方法，轨迹生成器Cr生成参考位置信号r和加速度信号a；将r和状态观测器输出信号作差，经反馈控制器Cfb得到反馈控制信号ufb；a经过前馈控制器Cff得到前馈控制信号uff；uff与ufb相加经出力解耦矩阵GB得到执行器控制信号uact；uact和实际位置信号y经虚拟执行器得到虚拟执行器补偿控制信号uva和输出信号yva；uact和uva相加经电控系统得到执行器实际出力信号Fact；Fact经过超精密光刻装备运动台系统P得到实际位置信号y；y与yva相加得到重构系统状态信号yf，yf和uact经过状态观测器得到状态观测器输出信号本发明能在超精密运动台系统执行器发生出力退化故障时起到较好的容错控制作用。

本发明授权一种超精密光刻装备执行器故障容错控制方法在权利要求书中公布了：1.一种超精密光刻装备执行器故障容错控制方法，其特征在于所述方法包括如下步骤： 步骤一：设计前馈控制器和反馈控制器； 步骤二：设计出力解耦矩阵； 步骤三：由轨迹生成器生成超精密光刻装备运动台系统的参考位置信号和参考加速度信号；步骤四：将参考位置信号和状态观测器输出信号作差，得到位置跟踪误差信号，位置跟踪误差信号经过反馈控制器得到反馈控制信号；参考加速度信号经过前馈控制器得到前馈控制信号； 步骤五：前馈控制信号与反馈控制信号相加得到逻辑轴控制信号，逻辑轴控制信号经过出力解耦矩阵得到执行器控制信号； 步骤六：执行器控制信号和实际位置信号经过虚拟执行器得到虚拟执行器补偿控制信号和虚拟执行器输出信号，具体步骤如下： 步骤六一：标称情况下超精密光刻装备运动台系统的状态空间方程为： 其中，为时间变量，为已知系统矩阵，为系统状态，为系统状态输出； 步骤六二：当执行器存在出力退化时，超精密光刻装备运动台系统的状态空间方程为： 其中，为执行器出力退化时的系统状态，为执行器出力退化时的系统状态输出，为执行器出力退化时的系统矩阵，具有以下形式： 其中，为执行器出力退化程度，； 步骤六三：虚拟执行器的状态空间方程为： 其中，为虚拟执行器内部状态，为虚拟执行器输出的补偿控制信号，为虚拟执行器状态输出信号，为虚拟执行器状态增益，为虚拟执行器输出增益，具有以下形式： 具有以下形式： 其中，为求解矩阵的伪逆； 步骤七：执行器控制信号和虚拟执行器补偿控制信号相加得到补偿后的控制信号，补偿后的控制信号经过电控系统得到执行器实际出力信号； 步骤八：执行器实际出力信号经过超精密光刻装备运动台系统得到实际位置信号； 步骤九：实际位置信号与虚拟执行器输出信号相加得到重构系统状态信号，重构系统状态信号和执行器控制信号经过状态观测器得到状态观测器输出信号，从而形成闭环控制。

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