同济大学;上海芯上微装科技股份有限公司葛黎黎获国家专利权
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龙图腾网获悉同济大学;上海芯上微装科技股份有限公司申请的专利重力补偿装置、微动台及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120406055B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510653164.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权重力补偿装置、微动台及半导体设备是由葛黎黎;孙秀婷;周畅;徐鉴设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本重力补偿装置、微动台及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种重力补偿装置、微动台及半导体设备；所述重力补偿装置应用于微动台，包括：空气弹簧组件，包括安装结构和气室，气室的顶部为膜结构，安装结构设置在膜结构上，气室支撑安装结构，安装结构用于支撑微动台；预压弹簧组件，多组预压弹簧组件绕Z轴方向沿安装结构的周向布置，每组包括预压弹簧和可调结构，预压弹簧的两端分别与安装结构和可调结构转动连接，可调结构用于调整预压弹簧的压缩量；以及基体部件，基体部件上设置空气弹簧组件和所有预压弹簧组件，基体部件还用于调整预压弹簧相对于水平面的安装角度。本发明可降低重力补偿装置的固有频率，并能实现高静态刚度和低动态刚度。
本发明授权重力补偿装置、微动台及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种重力补偿装置，应用于微动台，其特征在于，包括： 空气弹簧组件，包括安装结构和气室，所述气室与供气气源气路相通，所述气室的顶部为膜结构，所述安装结构设置在所述膜结构上，所述气室支撑所述安装结构，所述安装结构用于支撑所述微动台； 预压弹簧组件，多组所述预压弹簧组件绕Z轴方向沿所述安装结构的周向布置，每组所述预压弹簧组件包括预压弹簧和可调结构，所述预压弹簧的两端分别与所述安装结构和所述可调结构转动连接，所述可调结构用于调整所述预压弹簧的压缩量；以及，基体部件，所述基体部件上设置所述空气弹簧组件和所有所述预压弹簧组件，所述基体部件还用于调整所述预压弹簧相对于水平面的安装角度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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