中国科学院金属研究所马广财获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院金属研究所申请的专利基于扫描电镜的定量通道衬度成像方法、电子设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120293996B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510576269.2，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权基于扫描电镜的定量通道衬度成像方法、电子设备及介质是由马广财;张重远;任少飞;赵亚峰;姜亚南;刘朋;郭明非设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于扫描电镜的定量通道衬度成像方法、电子设备及介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于扫描电镜的定量通道衬度成像方法、电子设备及介质，包括：将多晶样品放入扫描电子显微镜系统，确定ROI，获取晶体数据；调节多晶样品状态，获得背散射电子图像与衍射衬度值图像的互相关图，使得背散射电子束扫描区域与ROI重合；在ROI中任选一个位置，计算在当前电子束能量下的ECP；在ECP上确定目标取向，确定将多晶样品旋转至目标取向的最优路径；获取旋转前后的背散射电子图像并进行互相关，移动多晶样品使得旋转前后的背散射电子束扫描区域重合；通过上述步骤调节扫描电子显微镜系统，采集ROI的一系列背散射电子图像。本发明能够实现扫描电镜对块状样品位错、纳米孪晶、层错等晶体缺陷表征与分析。
本发明授权基于扫描电镜的定量通道衬度成像方法、电子设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种基于扫描电镜的定量通道衬度成像方法，其特征在于，包括： 将多晶样品放入扫描电子显微镜系统，确定感兴趣的区域ROI，进而获取晶体数据，包括背散射衍射图样的衍射衬度值； 调节所述多晶样品的状态，获得背散射电子图像与衍射衬度值图像的互相关图，进而移动所述多晶样品使得背散射电子束扫描区域与所述ROI重合； 在所述ROI中任选一个位置，根据此位置的晶格常数计算在当前电子束能量下的电子通道效应图案ECP； 在所述ECP上确定目标取向，进而确定将所述多晶样品旋转至所述目标取向的最优路径； 获取旋转前后的背散射电子图像并进行互相关，进而移动所述多晶样品使得旋转前后的背散射电子束扫描区域重合； 通过上述步骤调节所述扫描电子显微镜系统，采集所述ROI的一系列背散射电子图像。
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