山东大学王丽焕获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种从碳化硅晶圆研磨废液中回收金刚石的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120270990B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510491585.X，技术领域涉及：C01B32/28；该发明授权一种从碳化硅晶圆研磨废液中回收金刚石的方法是由王丽焕;李刚;徐现刚;王志丞;郁万成;陈秀芳设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种从碳化硅晶圆研磨废液中回收金刚石的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碳化硅晶圆研磨废液中回收金刚石的方法，包括如下步骤：向碳化硅晶圆研磨废液中加入分散剂，然后进行喷雾干燥，得到固体A；将固体A加入碱液中，超声并搅拌处理设定时间，固液分离后，得到固体B；将固体B加入到强酸溶液中，超声并搅拌处理设定时间，固液分离后，得到固体C；将固体C加入至表面活性剂溶液中，加热并搅拌设定时间；最后向混合体系中加入分散剂，通过浮选除去晶片碎屑，将剩余固体干燥后得到金刚石；所述分散剂为六偏磷酸钠、三聚磷酸钠或聚丙烯醇中的一种或其组合。该方法可以有效提高金刚石磨粒的回收率和纯度。
本发明授权一种从碳化硅晶圆研磨废液中回收金刚石的方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶圆研磨废液中回收金刚石的方法，其特征在于：包括如下步骤： 向碳化硅晶圆研磨废液中加入分散剂，然后进行喷雾干燥，得到固体A； 将固体A加入碱液中，超声并搅拌处理设定时间，固液分离后，得到固体B； 将固体B加入到强酸溶液中，超声并搅拌处理设定时间，固液分离后，得到固体C； 将固体C加入至表面活性剂溶液中，加热并搅拌设定时间； 最后向混合体系中加入分散剂，通过浮选除去晶片碎屑，将剩余固体干燥后得到金刚石； 所述分散剂为六偏磷酸钠、三聚磷酸钠或聚丙烯醇中的一种或其组合； 所述碱液中还包括乙醇，乙醇的质量百分数为5%‑50%。
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