甬江实验室邬苏东获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉甬江实验室申请的专利复合晶圆及其集成方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120221490B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510696289.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权复合晶圆及其集成方法和应用是由邬苏东;夏岳;孔祥鹏;黄诗倍设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本复合晶圆及其集成方法和应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种复合晶圆及其集成方法和应用，所述集成方法包括以下步骤：在表面粗糙度≤0.5nm、翘曲度≤3μm的异质衬底上外延生长金刚石晶圆；采用粘结剂在金刚石晶圆的生长面上粘合临时载片，然后去除异质衬底，暴露出金刚石晶圆的形核面，其中，临时载片的杨氏模量≥300GPa且热膨胀系数＜9.9×10‑6℃；将金刚石晶圆的形核面与半导体晶圆进行键合；去除粘结剂和临时载片，得到复合晶圆。本发明的集成方法不需要对金刚石晶圆进行抛磨加工，进而对金刚石晶圆的尺寸和厚度也没有特殊要求，可以根据需要进行选择，不仅降低了生产难度和成本，而且键合得到的复合晶圆适用性更广。
本发明授权复合晶圆及其集成方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种复合晶圆的集成方法，其特征在于，包括以下步骤： 在异质衬底上外延生长金刚石晶圆，其中，所述异质衬底的表面粗糙度小于或等于0.5nm，翘曲度小于或等于1μm； 采用粘结剂在所述金刚石晶圆的生长面上粘合临时载片，然后去除所述异质衬底，暴露出所述金刚石晶圆的形核面，其中，所述临时载片的杨氏模量大于或等于300GPa且热膨胀系数小于9.9×10‑6℃，所述临时载片选自陶瓷载片； 将所述金刚石晶圆的形核面与半导体晶圆进行键合； 去除所述粘结剂和所述临时载片，得到复合晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人甬江实验室，其通讯地址为：315200 浙江省宁波市镇海区庄市街道兴海南路1519号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励