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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种信号校正方法、光学检测设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120043738B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311540104.7，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种信号校正方法、光学检测设备和存储介质是由陈鲁;欧阳鑫川;吕肃设计研发完成，并于2023-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种信号校正方法、光学检测设备和存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开一种信号校正方法、光学检测设备和存储介质，方法包括，获取待测信号；对待测信号进行第一变换，得到对应的信号频率相位关系；根据预设的频率相位误差关系对信号频率相位关系进行逐频率点的相位补偿，得到补偿信号；对补偿信号进行第二变换，得到校正信号；第一变换和第二变换互为逆变换；其中，频率相位误差关系被配置为基准信号的第一频率相位关系与线性拟合得到的第二频率相位关系之间的偏差。本方案能够利用预先配置的频率相位误差关系对待测信号进行相位补偿，从而修正检测设备中光学参数不对称造成的相位误差，提高光学检测设备检测的离焦量的准确度，有利于将试样快速准确地对焦。

本发明授权一种信号校正方法、光学检测设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种信号校正方法，其特征在于，包括： 通过光学探测获取受检试样的探测信息； 对所述受检试样的探测信息进行处理，得到待测信号；所述待测信号用于表征信号幅值随所述受检试样相对光学焦面的离焦量之间的波动关系； 对所述待测信号进行第一变换，得到对应的信号频率相位关系； 根据预设的频率相位误差关系对所述信号频率相位关系进行逐频率点的相位补偿，得到补偿信号； 对所述补偿信号进行第二变换，得到校正信号；所述第一变换和所述第二变换互为逆变换； 其中，所述频率相位误差关系被配置为基准信号的第一频率相位关系与线性拟合得到的第二频率相位关系之间的偏差； 其中，所述频率相位误差关系的配置过程包括： 获取基准信号，所述基准信号是检测第一试样得到的信号，所述第一试样包括未蚀刻图形的裸晶圆，或者，任一晶圆上未被蚀刻图形的部分区域； 对所述基准信号进行第一变换，得到所述基准信号的第一频率相位关系； 对所述第一频率相位关系进行线性拟合，得到第二频率相位关系； 根据所述第一频率相位关系和所述第二频率相位关系之间各频率点的偏差，生成所述频率相位误差关系。

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