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大连理工大学黄明亮获国家专利权

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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种基于磺酸体系的Sn-Ag微凸点电镀液及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120026380B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510036844.X,技术领域涉及:C25D3/56;该发明授权一种基于磺酸体系的Sn-Ag微凸点电镀液及其制备方法与应用是由黄明亮;黄斐斐;任婧;郑立鹏;阎艳;张丰瑞设计研发完成,并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于磺酸体系的Sn-Ag微凸点电镀液及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于磺酸体系的Sn‑Ag微凸点电镀液及其制备方法与应用,包括以下的组分:磺酸、锡盐、银盐、络合剂、晶粒细化剂、整平剂、分散剂、稳定剂;络合剂包括含硫吡啶类化合物和硫脲类化合物;晶粒细化剂为花色素类化合物;整平剂为不饱和羰基类化合物;分散剂为高分子量嵌段共聚物;稳定剂为苯酚类化合物。本发明的电镀液具有高电流效率,可有效调控微凸点形貌,提升其平整性和共面性,适用于高电流密度下在晶圆上形成微米级致密、平滑的Sn‑Ag微凸点,应用于高密度集成电路芯片的互连制造。

本发明授权一种基于磺酸体系的Sn-Ag微凸点电镀液及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种基于磺酸体系的Sn‑Ag微凸点电镀液,其特征在于,包括以下浓度的组分: 0.400~3.000 molL的磺酸、0.200~0.400 molL的锡盐、0.001~0.004 molL的银盐、0.004~0.012 molL的络合剂、0.025~0.800 gL的晶粒细化剂、0.025~0.080 gL的整平剂、0.500~2.000 gL的分散剂、0.500~2.000 gL的稳定剂; 所述络合剂选自含硫吡啶类化合物和硫脲类化合物; 所述晶粒细化剂为花色素类化合物; 所述整平剂为不饱和羰基类化合物; 所述分散剂为高分子量嵌段共聚物; 所述稳定剂为苯酚类化合物; 所述晶粒细化剂与所述整平剂的浓度比为1~10:1; 所述花色素类化合物选自芍药素、丁香素、飞燕草素、锦葵素、矮牵牛素和矢车菊素中的至少一种; 所述不饱和羰基类化合物选自肉桂醛、枯名醛、苯甲醛、甲醛、大马酮和β紫罗酮中的至少一种; 所述高分子量嵌段共聚物选自分子量为2000~15000的聚乙二醇‑聚丙二醇‑聚乙二醇三嵌段共聚物、分子量为2000~10000的聚丙二醇‑聚乙二醇‑聚丙二醇三嵌段共聚物中的至少一种; 所述苯酚类化合物选自间苯二酚、邻苯二酚、对苯二酚、甲基苯酚和五氯苯酚中的至少一种。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人大连理工大学,其通讯地址为:116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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