西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司陈凡获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请的专利一种检测石英坩埚的方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119901677B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411917463.4,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种检测石英坩埚的方法和装置是由陈凡设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测石英坩埚的方法和装置在说明书摘要公布了:本公开提供了一种检测石英坩埚的方法和装置;该装置包括:具有开口的第一检测室;设置于第一检测室内的基座,用于承载石英坩埚;在第一检测室中,布设于基座相对的两侧内壁的光源;具有开口的第二检测室,第二检测室能够从第一检测室的开口进入或离开第一检测室,并且在第二检测室进入第一检测室之后,基座和石英坩埚处于第二检测室中;设置于第二检测室内的距离传感器,用于在第二检测室进入到第一检测室之后,检测石英坩埚的外形参数;设置于第一检测室内的拍照装置,用于在第二检测室离开第一检测室之后,拍摄石英坩埚的内表面图像;确认部,用于根据石英坩埚的外形参数和石英坩埚的内表面图像确认石英坩埚的检测状态。
本发明授权一种检测石英坩埚的方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种检测石英坩埚的装置,其特征在于,所述检测石英坩埚的装置包括: 具有开口的第一检测室; 设置于所述第一检测室内的基座,用于承载石英坩埚; 在所述第一检测室中,布设于所述基座相对的两侧内壁的光源; 具有开口的第二检测室,所述第二检测室能够从所述第一检测室的开口进入或离开所述第一检测室,并且在所述第二检测室进入所述第一检测室之后,所述基座和所述石英坩埚处于所述第二检测室中;其中,所述第二检测室的箱体材料由吸光材料制备而成,当所述基座及其承载的石英坩埚处于所述第二检测室的内部空间时,所述基座及其承载的石英坩埚处于一光学暗室的环境; 设置于所述第二检测室内的距离传感器,用于在所述第二检测室进入到所述第一检测室之后,检测所述石英坩埚的外形参数; 控制部,被配置成在所述基座及其承载的石英坩埚处于所述第二检测室的内部空间的情况下,控制所述距离传感器在所述第二检测室内的移动,以使得所述距离传感器在移动过程中测量出所述石英坩埚的外形参数; 设置于所述第一检测室内的拍照装置,用于在所述第二检测室离开所述第一检测室之后,拍摄所述石英坩埚的内表面图像; 确认部,被配置成根据所述石英坩埚的外形参数和所述石英坩埚的内表面图像确认所述石英坩埚的检测状态。
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