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龙图腾网获悉安徽积芯微电子科技有限公司申请的专利一种MOS芯片蚀刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119852235B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510003267.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种MOS芯片蚀刻设备是由吕娟娟;张正兵;顾梦甜设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MOS芯片蚀刻设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MOS芯片蚀刻设备，涉及MOS芯片蚀刻技术领域，包括：蚀刻机主体两端分别开设有进出口,蚀刻机主体底端固定连接有静电吸附台,蚀刻机主体内壁顶端滑动连接有控制组件，喷淋头设有若干组且分别沿控制组件长度方向等距分布，喷淋头与控制组件固定连接，驱动器设置在蚀刻机主体侧端，驱动器滑动连接有导杆，所述导杆侧端固定连接有夹持组件；然后控制组件控制多个喷淋头喷射腐蚀液在MOS芯片上，从而实现了对多个MOS芯片针对性的进行蚀刻，保证每个MOS芯片都能得到充分的腐蚀液，从而实现了MOS芯片得到充分的蚀刻的效果，夹持组件通过驱动器和导杆可以将MOS芯片进行定位放置，从而实现了MOS芯片保持间隔放置的效果。

本发明授权一种MOS芯片蚀刻设备在权利要求书中公布了：1.一种MOS芯片蚀刻设备，其特征在于，包括： 蚀刻机主体1，所述蚀刻机主体1两端分别开设有进出口12,蚀刻机主体1底端固定连接有静电吸附台14,蚀刻机主体1内壁顶端滑动连接有控制组件； 喷淋头22，所述喷淋头22设有若干组且分别沿控制组件长度方向等距分布，喷淋头22与控制组件固定连接； 驱动器3，所述驱动器3设置在蚀刻机主体1侧端，驱动器3滑动连接有导杆5，所述导杆5侧端固定连接有夹持组件； 所述导杆5底部设有输送机2，所述夹持组件位于输送机2顶部； 所述静电吸附台14顶部滑动连接有去除板16，静电吸附台14侧端开设有回收槽18，所述去除板16侧端固定连接有伸缩杆15； 驱动器3控制导杆5进行伸缩移动，导杆5带着夹持组件进行移动，夹持组件夹持MOS芯片穿过进出口12，夹持组件将MOS芯片逐个放置在静电吸附台14上，MOS芯片之间保持等距。

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