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中南大学汪炼成获国家专利权

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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种基于ITO台肩结构的Micro-RCLED器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119789642B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411964784.X,技术领域涉及:H10H20/841;该发明授权一种基于ITO台肩结构的Micro-RCLED器件及其制备方法是由汪炼成;林超宇;林蕴;冯佩设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于ITO台肩结构的Micro-RCLED器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于ITO台肩结构的Micro‑RCLED器件及其制备方法,其中器件包括由下至上依次布置的衬底层、键合金属层、第一反射镜层、ITO电流扩展层和氮化镓外延层,氮化镓外延层包括由下至上依次布置的p‑GaN层、MQW层和n‑GaN层,键合金属层、ITO电流扩展层和第一反射镜层的台面尺寸依次变小呈工字型布置,氮化镓外延层的台面尺寸不大于ITO电流扩展层,在第一反射镜层和ITO电流扩展层外的键合金属层上设有与ITO电流扩展层底部台肩面对接布置的金属电极层,在n‑GaN层上设有DBR反射镜层,DBR反射镜层对器件发射光源的反射率小于第一反射镜层。本发明大幅提高Micro‑RCLED芯片量产中的良率,并在衬底转移中,创新性提出CMP‑ICP‑CMP减薄谐振腔层方法,降低了器件断路和器件失效的现象。

本发明授权一种基于ITO台肩结构的Micro-RCLED器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于ITO台肩结构的Micro‑RCLED器件,包括由下至上依次布置的衬底层1、键合金属层2、第一反射镜层3、ITO电流扩展层4和氮化镓外延层5,所述氮化镓外延层包括由下至上依次布置的p‑GaN层55、MQW层54和n‑GaN层53,其特征在于:所述键合金属层、ITO电流扩展层和第一反射镜层的台面尺寸依次变小呈工字型布置,所述氮化镓外延层的台面尺寸不大于ITO电流扩展层,在第一反射镜层和ITO电流扩展层外的键合金属层上设有与ITO电流扩展层底部台肩面对接布置的金属电极层6,在金属电极层上沉积向n‑GaN层顶部延伸布置的绝缘层7,在氮化镓外延层一侧的绝缘层上设有与金属电极层相对接的P型接触电极8,所述P型接触电极通过金属电极层、ITO电流扩展层与p‑GaN层连接形成的欧姆接触导电,在氮化镓外延层另一侧的绝缘层上设有n‑GaN层相对接的N型接触电极9,在n‑GaN层上设有DBR反射镜层10,该DBR反射镜层对器件发射光源的反射率小于第一反射镜层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中南大学,其通讯地址为:410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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