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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利基于PT对称的三自由度弱耦合高灵敏MEMS传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119688796B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411879785.4，技术领域涉及：G01N27/22；该发明授权基于PT对称的三自由度弱耦合高灵敏MEMS传感器及其制备方法是由刘武;傅义航;赵浩文;吕乐洋设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于PT对称的三自由度弱耦合高灵敏MEMS传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种基于PT对称的三自由度弱耦合高灵敏MEMS传感器及其制备方法，包括双端固定音叉谐振器，其两两呈镜面对称，质量和大小相等；三个双端固定音叉谐振器位于同一直线上；可调机械弱耦合结构将相邻的双端固定音叉谐振器耦合连接；可动梳齿电容结构位于各个双端固定音叉谐振器的两侧；检测梳齿和驱动梳齿位于两个双端固定音叉谐振器对应的可动梳齿电容结构的外侧；两个可调阻尼电路通过引线与电极层，与两个双端固定音叉谐振器对应连接；玻璃作为传感器的基底。本发明为微机电系统的设计提供新原理和新思路，有利于谐振型MEMS传感器实现对微弱信号的超灵敏测量。

本发明授权基于PT对称的三自由度弱耦合高灵敏MEMS传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于PT对称的三自由度弱耦合高灵敏MEMS传感器，其特征在于，包括： 双端固定音叉谐振器，其音叉两两呈镜面对称，每个音叉的质量和大小相等；三个所述双端固定音叉谐振器位于同一直线上； 可调机械弱耦合结构，将相邻的所述双端固定音叉谐振器弱耦合连接； 可动梳齿，连接于各个所述双端固定音叉谐振器的两侧； 检测梳齿，设置于两个所述双端固定音叉谐振器对应的所述可动梳齿外； 驱动梳齿，设置于两个所述双端固定音叉谐振器对应的所述可动梳齿外； 电极层，与所述检测梳齿、所述驱动梳齿连接； 可调阻尼电路，两个所述可调阻尼电路通过引线与所述电极层连接，实现与两个所述双端固定音叉谐振器对应连接；两个所述可调阻尼电路使得作用于两个所述双端固定音叉谐振器的等效阻尼符号相反、大小相等，实现PT对称； 玻璃，作为传感器的基底； 所述可调机械弱耦合结构，包括； 耦合梁，连接相邻的两个所述双端固定音叉谐振器，并围成闭合区域； 调谐耦合结构刚度电极，四个所述调谐耦合结构刚度电极镜面对称分布在所述耦合梁围成的所述闭合区域内； 气体敏感材料薄层，两个所述气体敏感材料薄层对称分布在所述耦合梁上。

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