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昂坤视觉(北京)科技有限公司;杭州昂坤半导体设备有限公司王佳文获国家专利权

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龙图腾网获悉昂坤视觉(北京)科技有限公司;杭州昂坤半导体设备有限公司申请的专利一种基于标定板的重映射参数的计算方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119672133B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510180216.9,技术领域涉及:G06T7/80;该发明授权一种基于标定板的重映射参数的计算方法及装置是由王佳文;黄康宁;马铁中设计研发完成,并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于标定板的重映射参数的计算方法及装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于标定板的重映射参数的计算方法及装置,该方法包括:获取以预设扫描方式采集到的标定板在设定条件下的标定板图像,其中,所述设定条件为标定板放置于运动平台,标定板中心与运动平台的旋转中心对齐;利用图像处理技术根据所述标定板图像提取标定板上所有标记图案的图像坐标,其中,所有标记图案的图像坐标包括数据标记和配准标记的图像坐标;根据配准标记在标定板中的坐标计算所有数据标记的标定板坐标,基于所有标记图案的图像坐标和标定板坐标进行数据拟合,确定重映射参数。本发明解决了现有技术中在进行重映射参数确定时准确性低的问题。

本发明授权一种基于标定板的重映射参数的计算方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种基于标定板的重映射参数的计算方法,其特征在于,所述标定板为划分有多个区域的晶圆,每个区域由各自的带有标记图案的晶粒组成,所述标记图案包括数据标记和配准标记,所述方法包括: 获取以预设扫描方式采集到的标定板在设定条件下的标定板图像,其中,所述设定条件为标定板放置于运动平台,标定板中心与运动平台的旋转中心对齐; 利用图像处理技术根据所述标定板图像提取标定板上所有标记图案的图像坐标,其中,所有标记图案的图像坐标包括数据标记和配准标记的图像坐标; 根据配准标记在标定板中的坐标计算所有数据标记的标定板坐标,基于所有标记图案的图像坐标和标定板坐标进行数据拟合,确定重映射参数; 当所述预设扫描方式为螺线扫描时,所述基于所有标记图案的图像坐标和标定板坐标进行数据拟合,确定重映射参数的步骤包括: 标定板坐标转换为图像坐标函数定义: 其中,和分别为标记的图像X和Y坐标,和分别为图像拼接坐标系下X和Y坐标,和分别为图像宽度和高度,和分别为螺线系数,为螺线扫描初始角度,和分别为相机X轴和扫描方向分辨率,和分别为标记的运动平台极坐标,和分别为标记的运动平台X和Y坐标,为仿射变换函数,、和为仿射变换系数,为螺线弧长计算函数,为极坐标转换函数,为求余函数; 重映射参数拟合数值求解定义: 。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人昂坤视觉(北京)科技有限公司;杭州昂坤半导体设备有限公司,其通讯地址为:102200 北京市昌平区沙河镇昌平路97号7幢5层503-1室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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