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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利实时自动对焦系统和由其构成的检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119575592B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411798312.1，技术领域涉及：G02B7/28；该发明授权实时自动对焦系统和由其构成的检测系统是由张鹏斌;孟立春;王宏宇;刘正涛;陈鲁设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本实时自动对焦系统和由其构成的检测系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种实时自动对焦系统和由其构成的检测系统，实时自动对焦系统包括包括第一照明子系统、第二照明子系统、合束元件、第一掩模版、第二掩模版、准直镜组、物镜、第一分束镜、第二分束镜、移动机构、第一探测子系统和第二探测子系统；根据第一探测子系统和第二探测子系统接收到的成像光能计算调焦能量信号，根据调焦能量信号控制移动机构调节物镜或待测样品的位置，实现待测样品的实时对焦。本发明利用能量差分方式，消除自动对焦系统因待测样品表面图形反射率不同及图形刻蚀深度所受到的影响，通过调节物镜或待测样品的位置，实现待测样品的实时对焦。

本发明授权实时自动对焦系统和由其构成的检测系统在权利要求书中公布了：1.一种实时自动对焦系统，其特征在于：包括第一照明子系统、第二照明子系统、合束元件、第一掩模版、第二掩模版、准直镜组、物镜、第一分束镜、第二分束镜、移动机构、第一探测子系统和第二探测子系统；其中，第一照明子系统发出的照明光束与第二照明子系统发出的照明光束分别入射至合束元件，第一照明子系统的圆形光斑与第二照明子系统的圆形光斑被合束元件切掉一半，且两个半圆形光斑拼接成完整的圆形光斑；拼接的圆形光斑经准直镜组准直后照亮第一掩模版，再经第一分束镜、物镜到达待测样品的表面，由待测样品反射后再依次经物镜、第一分束镜到达第二分束镜，分束后的反射光被第一探测子系统接收，分束后的透射光照亮第二掩模版，再被第二探测子系统接收；移动机构与待测样品安装或与物镜安装，通过移动机构调节待测样品或物镜的位置，实现待测样品的实时对焦； 合束元件采用正立投影为梯形的楔体，楔体的下底面朝向第二探测子系统，楔体的斜腰面朝向第一探测子系统，第一探测子系统的光轴与第二探测子系统的光轴交汇在楔体靠近第一探测子系统一侧的上底角处，且该上底角为135°，在楔体的斜腰面镀制反射膜，在楔体的上底面和下底面镀制增透膜；或者合束元件采用反射镜，反射镜的反射面朝向第一探测子系统，且反射面与水平面所成夹角为45°，反射镜的顶边位于第一探测子系统的光轴与第二探测子系统的光轴交汇处； 根据第一探测子系统接收到的成像光能与第二探测子系统接收到的成像光能计算调焦能量信号，根据调焦能量信号对移动机构进行控制，调节物镜或待测样品的位置。

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