广东芯成汉奇半导体技术有限公司刘昆奇获国家专利权
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龙图腾网获悉广东芯成汉奇半导体技术有限公司申请的专利一种取放设备及芯片自动测试系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119574177B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411679695.0,技术领域涉及:G01N1/04;该发明授权一种取放设备及芯片自动测试系统是由刘昆奇;孙成思;何瀚;洪瑞斌;韩磊设计研发完成,并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种取放设备及芯片自动测试系统在说明书摘要公布了:本申请提供一种取放设备及芯片自动测试系统,通过在晶圆切割后,对单个裸芯片进行测试,能够更准确地识别出那些在晶圆级测试中可能未被发现的缺陷或不合格品。这些缺陷可能是在晶圆切割过程中引入的,如切割损伤、污染等。因此,该测试方法能有效提升最终产品的良率,减少因不合格裸芯片流入后续生产环节而造成的资源浪费和成本增加。并且,通过取放设备、测试设备和取出设备,能够实现“将裸芯片放置于芯片载体中,再将芯片载体摆放到托盘上,通过托盘进行批量测试,测试后将裸芯片从芯片载体中取出”的自动化处理流程,提高处理速度,减少人工成本和人为错误。
本发明授权一种取放设备及芯片自动测试系统在权利要求书中公布了:1.一种取放设备,其特征在于,包括:载体传入装置、芯片传入装置和取放机械臂组; 所述载体传入装置用于将芯片载体传送至取放工位; 所述芯片传入装置用于将包含裸芯片的卷带或Frame传送至取放工位;其中,Frame为切割晶圆得到的结构; 所述取放机械臂组用于将取放工位的裸芯片,放置到取放工位的芯片载体中,并将放置有裸芯片的芯片载体移动至测试设备入口处的托盘上; 其中,测试设备直接对托盘上的芯片载体进行芯片测试; 所述取放机械臂组包括:第一机械臂、第二机械臂和移入机械臂;所述第一机械臂用于吸取芯片载体的盖板,暴露芯片载体内部的空腔;所述第二机械臂用于吸取卷带上的裸芯片,并将裸芯片从芯片载体的开口放入芯片载体;所述第一机械臂还用于在裸芯片放入芯片载体后,将盖板盖住芯片载体的开口;所述移入机械臂,用于夹持芯片载体的载体主体; 并,在盖板盖住芯片载体的开口之后,将放置有裸芯片的芯片载体移动至测试设备入口处托盘的空位上; 或,所述取放机械臂组包括:第一机械臂和第二机械臂;所述载体传入装置包括:第一夹持组件;所述第一夹持组件,用于夹持芯片载体;在裸芯片放置到芯片载体中之后,所述第一夹持组件释放;所述第一机械臂用于吸取芯片载体的盖板,暴露芯片载体内部的空腔; 所述第二机械臂用于吸取裸芯片,并将裸芯片从芯片载体的开口放入芯片载体;所述第一机械臂还用于在裸芯片放入芯片载体后,将盖板盖住芯片载体的开口;所述第一机械臂或第二机械臂,用于在第一夹持组件释放之后,夹持芯片载体的载体主体,将放置有裸芯片的芯片载体移动至测试设备入口处托盘的空位上。
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