科峻成精密科技(东莞)有限公司吴玉涛获国家专利权
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龙图腾网获悉科峻成精密科技(东莞)有限公司申请的专利金属蚀刻制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119506883B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411688270.6,技术领域涉及:C23F1/02;该发明授权金属蚀刻制备工艺是由吴玉涛;熊道安;张卫设计研发完成,并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属蚀刻制备工艺在说明书摘要公布了:本发明涉及金属蚀刻制备工艺,属于蚀刻液的技术领域。所述金属蚀刻制备工艺包括以下步骤:在金属片上涂覆光刻胶后,对该金属片表面的光刻胶层执行掩模曝光显影处理;将蚀刻液喷淋于金属片上,对未被光刻胶覆盖的金属片部位进行蚀刻;对蚀刻完成的金属片进行清洗以及去胶,然后置于研磨机中进行研磨,超声清洗后进行烘干处理,即完成。本发明通过改进生产工艺,对金属片进行精细蚀刻和研磨,有效避免了穿孔问题,并确保金属片硬度足够,防止变形;本发明的金属络合剂含有氮、氧、硫杂原子的有机杂环化合物,具有多个活性吸附位点,能有效吸附至金属铜表层,形成防护膜,防止铜腐蚀,保证蚀刻液保持优良的蚀刻速度,防止过度侧蚀。
本发明授权金属蚀刻制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种金属蚀刻制备工艺,其特征在于,所述金属蚀刻制备工艺包括以下步骤: S1、在金属片上涂覆光刻胶后,对该金属片表面的光刻胶层执行掩模曝光显影处理; S2、将蚀刻液喷淋于金属片上,对未被光刻胶覆盖的金属片部位进行蚀刻; S3、对蚀刻完成的金属片进行清洗以及去胶,然后置于研磨机中进行研磨,超声清洗后进行烘干处理,即完成; 所述蚀刻液按重量份比包括以下组分:过氧化氢30‑40重量份、戊二酸5.4‑6.2重量份、季戊四醇4.6‑5.4重量份、金属络合剂5.5‑6.0重量份、2‑氨基苯甲酸2‑3重量份、异丙醇胺5‑6份和去离子水45‑52重量份; 所述金属络合剂的制备方法包括以下步骤: 步骤一:将羟基肉桂醛和无水乙醇加入到反应釜中混匀后进行预热,在惰性氛围和搅拌条件下,加入乙二胺溶液和冰醋酸加热处理,冷却至室温,旋蒸去掉溶剂,洗涤后进行真空干燥,得到预制体; 步骤二:将预制体和无水乙醇加入到反应釜中搅拌混合后,加入硫代苹果酸和引发剂进行紫外线照射处理,离心去掉溶剂后,洗涤后进行真空干燥,得到金属络合剂。
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