上海玄亨科技股份有限公司郭盛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玄亨科技股份有限公司申请的专利一种复合陶瓷静电吸盘及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119419162B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411460982.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种复合陶瓷静电吸盘及其制造方法是由郭盛;蒲红旭;朱宁设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合陶瓷静电吸盘及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种复合陶瓷静电吸盘的制造方法，该方法包含：步骤1，提供一陶瓷流延片，印刷金属电极，得到第一流延片；步骤2，混合高介电强度陶瓷粉末、有机溶剂、分散剂、粘结剂和塑化剂，配制成高介电强度流延浆料，所述高介电强度陶瓷粉末包括五氧化二钽、六方氮化硼中的任意一种；步骤3，在间隙处印刷所述高介电强度流延浆料，得到第二流延片；步骤4，在所述第二流延片上表面覆盖一陶瓷流延片，叠层成型。本发明制造的复合陶瓷静电吸盘在保证高电压时陶瓷流延片不被击穿的情况下可以减小间隙，同时能够增大电极与晶圆的吸附面积，提高对晶圆的吸附力，从而有效提高晶圆的散热性能和温度均匀性。
本发明授权一种复合陶瓷静电吸盘及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种复合陶瓷静电吸盘的制造方法，其特征在于，该方法包含： 步骤1，提供一陶瓷流延片，预留顶针孔、氦气孔，所述顶针孔位于所述陶瓷流延片中心位置，所述氦气孔均匀分布在所述陶瓷流延片表面，使用丝网印版在所述陶瓷流延片上印刷金属电极，得到第一流延片，其中，所述金属电极和所述顶针孔、氦气孔之间的间隙为0.5mm‑2.5mm，所述金属电极和所述陶瓷流延片外缘之间的间隙为0.5mm‑2.5mm； 步骤2，混合高介电强度陶瓷粉末、有机溶剂、分散剂、粘结剂和塑化剂，配制成高介电强度流延浆料，所述高介电强度陶瓷粉末包括五氧化二钽、六方氮化硼中的任意一种； 步骤3，更换所述丝网印版，在所述间隙处印刷所述高介电强度流延浆料，得到第二流延片； 步骤4，在所述第二流延片上表面覆盖一陶瓷流延片，叠层成型。
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