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龙图腾网获悉济南科盛电子有限公司申请的专利一种改进型RCA清洗工艺及清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119387227B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411887803.3，技术领域涉及：B08B3/08；该发明授权一种改进型RCA清洗工艺及清洗设备是由李充设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种改进型RCA清洗工艺及清洗设备在说明书摘要公布了：本发明涉及RCA清洗的技术领域，提出了一种改进型RCA清洗工艺及清洗设备，提供了一种工艺对硅片进行RCA清洗，通过配置混酸溶液，缩减了原本需要的两个酸洗步骤，只需要一步酸洗就能够达到原有的清洁效果，整个清洗过程，大多位于室温条件下，在缩减了酸洗步骤的同时减少了化学药剂的使用，降低成本，并且又能够保证清洗质量。通过接液板，在清洗容器转移的过程中始终水平位于其底部，用于承接掉落的废液，避免废液污染台面或清洁槽，同时接液板还能够被机械臂操控，调整位置避免干涉工作台的动作，也能够在接完废液后进入清洁槽自动清洗。

本发明授权一种改进型RCA清洗工艺及清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种改进型RCA清洗设备，包括设备主体100，所述设备主体100包括控制系统、配液供液系统、排液系统和工作舱，所述工作舱的工作台上开设有若干个清洁槽，其特征在于； 还包括与清洁槽适配并用于盛放硅片的清洗容器1，所述工作舱顶部固定有能够将清洗容器1转移到不同清洁槽的吊装机构2，所述清洁槽具有四个，分别为浸没槽31、酸洗槽32、冲洗槽33和超声波槽34，所述工作舱的侧壁上固定有机械臂4，所述机械臂4的工作端固定有接液板41，在清洗容器1转移的过程中接液板41始终水平位于其底部； 所述清洗容器1为方筒形结构，所述清洗容器1的一个侧壁上开设有若干个并列设置的条形定位孔11，其余三个侧壁上与条形定位孔11对应开设有若干个条形插入孔12，且与同一条形定位孔11对应的三个条形插入孔12连为一体以安装不同大小的所述硅片； 所述硅片能够插入所述条形插入孔12，至穿入条形定位孔11后停止并定位； 清洗时，所述清洗容器1的放置位置能够调整，使所述硅片竖直或水平放置； 所述吊装机构2的吊装处固定有吊钩21； 所述清洗容器1的边缘上均开设有与所述吊钩21相匹配的勾取槽13，则所述清洗容器1呈任意方向放置时，其上端面侧壁位置都具有能够被所述吊装机构2吊取的所述勾取槽13。

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