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安徽华晟新能源科技股份有限公司李成获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽华晟新能源科技股份有限公司申请的专利衬底制备方法及光伏电池获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119384068B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411522994.3,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权衬底制备方法及光伏电池是由李成;彭长涛;辛科;萧吉宏;王斌设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

衬底制备方法及光伏电池在说明书摘要公布了:本发明提供一种衬底制备方法及光伏电池,用于制备获得包括金字塔结构的衬底。该制备方法包括:提供基底,基底具有相对的两侧;于基底的至少一侧形成第一调节层;于第一调节层背离基底一侧形成具有预设厚度的第二调节层;第二调节层具有多个在厚度方向上贯穿自身的通孔;以第二调节层为掩膜对第一调节层执行第一型刻蚀,去除为通孔所暴露的部分第一调节层并形成具有预设宽度值的开口图案;对第二调节层以及为开口图案所暴露的部分基底执行第二型刻蚀,以于基底上获得金字塔结构;去除剩余的第一调节层,剩余的基底及金字塔结构共同构成衬底。使用该方法在获得对金字塔结构形貌参数较高调控精度的同时,有效简化了工艺难度、降低了制备成本。

本发明授权衬底制备方法及光伏电池在权利要求书中公布了:1.一种衬底制备方法,用于制备获得包括金字塔结构的衬底;其特征在于,包括: 提供基底,所述基底具有相对的两侧; 于所述基底的至少一侧形成第一调节层;所述第一调节层与所述基底的被刻蚀选择性不同; 于所述第一调节层背离所述基底一侧形成具有预设厚度值的第二调节层;所述第二调节层与所述基底的被刻蚀选择性相同;并且,所述第二调节层具有多个在其厚度方向上贯穿自身的通孔;所述通孔用于定义所述金字塔结构的形成数量; 以所述第二调节层为掩膜对所述第一调节层执行第一型刻蚀,去除为所述通孔所暴露的部分所述第一调节层并形成具有预设宽度值的开口图案;所述开口图案用于定义所述金字塔结构的底边边长; 对所述第二调节层以及为所述开口图案所暴露的部分所述基底同步执行第二型刻蚀,以于所述基底上获得金字塔结构;其中,所述第二调节层的厚度用于定义所述金字塔结构的形成高度;具体为借助于所述第二调节层的厚度设置,便于所述第二调节层刻蚀结束时同步停止对所述基底的刻蚀,便于实现对所述金字塔结构的形成高度进行调控; 去除剩余的所述第一调节层;剩余的所述基底及所述金字塔结构共同构成所述衬底。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽华晟新能源科技股份有限公司,其通讯地址为:242000 安徽省宣城市经济技术开发区清流路99号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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