哈尔滨工业大学;河南碳真芯材科技有限公司;哈工大郑州研究院张森获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学;河南碳真芯材科技有限公司;哈工大郑州研究院申请的专利利用金刚石固态量子自旋探测宽谱紫外光的方法及紫外电探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119230628B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411341625.4,技术领域涉及:H10F77/122;该发明授权利用金刚石固态量子自旋探测宽谱紫外光的方法及紫外电探测器是由张森;陈钻权;刘本建;赵继文;郝晓斌;李一村;刘康;代兵;朱嘉琦;韩杰才设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用金刚石固态量子自旋探测宽谱紫外光的方法及紫外电探测器在说明书摘要公布了:利用金刚石固态量子自旋探测宽谱紫外光的方法及紫外电探测器的应用,本发明利用金刚石NV色心电荷态在UV作用下会发生转变,其光谱强度也会相应发生变化的特点。本发明利用金刚石固态量子自旋探测宽谱紫外光的方法中首先制备带有NV色心的金刚石,使用激光对带有NV色心的金刚石进行辐照激发,通过光学传感器采集金刚石外延区域处的荧光强度信号,当带有NV色心的金刚石受到紫外光照射时,荧光强度信号在575nm~637nm波段产生增强响应。本发明通过金刚石NV色心电荷态对紫外敏感的特点,通过光学传感器监测金刚石在激光激发下加载UV,光电信号对575nm及其声子边带范围内光学信号响应的变化,对紫外进行探测。
本发明授权利用金刚石固态量子自旋探测宽谱紫外光的方法及紫外电探测器在权利要求书中公布了:1.利用金刚石固态量子自旋探测宽谱紫外光的方法,其特征在于该利用金刚石固态量子自旋探测宽谱紫外光的方法按照以下步骤实现: 一、清洗: 对高温高压金刚石基底进行清洗,得到洁净的金刚石基底; 二、金刚石NV色心固态量子自旋制备: a、将洁净的金刚石基底放入CVD生长舱体内,抽真空后通入氢气,调节CVD生长舱体内气压为8~12 mbar,启动微波发生器,激活等离子体; b、升高CVD生长舱体内气压和微波发生器的功率,使洁净的金刚石基底的温度达到700~1000℃; c、通入甲烷,控制甲烷流量为4 ~ 32 sccm; d、通入掺杂元素气体,控制金刚石基底的温度稳定在700~1000℃,进行CVD外延生长,生长后关闭甲烷和掺杂元素气体通入,逐渐降低微波发生器的功率和CVD生长舱体内气压,关闭氢气阀门,放气至大气气压,从而得到外延区带有NV色心的金刚石; 三、紫外光探测: 使用激光对带有NV色心的金刚石进行辐照激发,通过光学传感器采集金刚石外延区域处的荧光强度信号,当带有NV色心的金刚石受到紫外光照射时,荧光强度信号在575nm~637nm波段产生增强响应,从而完成利用金刚石固态量子自旋探测宽谱紫外光的方法; 其中步骤d中掺杂元素气体为氮气。
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