昂坤视觉(北京)科技有限公司;杭州昂坤半导体设备有限公司马铁中获国家专利权
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龙图腾网获悉昂坤视觉(北京)科技有限公司;杭州昂坤半导体设备有限公司申请的专利一种用于晶圆检测的扫描矫正方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119006363B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410908438.3，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种用于晶圆检测的扫描矫正方法及装置是由马铁中;姜璐;王佳文设计研发完成，并于2024-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆检测的扫描矫正方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于晶圆检测的扫描矫正方法及装置，该方法包括：按预设规则从晶圆模板当中选取预设个数的标记点位，并根据标记点位的搜索范围计算所需扫描图块；裁剪各个所需扫描图块中包含的标记点位的搜索区域，并对裁剪后的标记点位的搜索区域进行拼接，以定位标记点位的位置信息；根据标记点位的位置信息计算标记点位在全局坐标系下的定位结果，并利用定位结果与标记点位的位置信息计算仿射矩阵；根据仿射矩阵计算旋转角度及位置偏移分量，以对晶圆扫描时的采集位置进行矫正。本发明解决了现有技术中晶圆扫描片与晶圆模版存在偏差，导致其成像与模版图像不一致的问题。
本发明授权一种用于晶圆检测的扫描矫正方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆检测的扫描矫正方法，其特征在于，所述方法包括： 按预设规则从晶圆模板当中选取预设个数的标记点位，并根据所述标记点位的搜索范围计算所需扫描图块； 裁剪各个所述所需扫描图块中包含的所述标记点位的搜索区域，并对裁剪后的所述标记点位的搜索区域进行拼接，以定位所述标记点位的位置信息； 根据所述标记点位的位置信息计算所述标记点位在全局坐标系下的定位结果，并利用所述定位结果与所述标记点位的位置信息计算仿射矩阵； 根据所述仿射矩阵计算旋转角度及位置偏移分量，以对晶圆扫描时的采集位置进行矫正。
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