兰州空间技术物理研究所贾文杰获国家专利权
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龙图腾网获悉兰州空间技术物理研究所申请的专利一种基于腔增强拉曼参考的光学干涉低真空测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118999890B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411266037.9,技术领域涉及:G01L21/00;该发明授权一种基于腔增强拉曼参考的光学干涉低真空测量装置是由贾文杰;成永军;孙雯君;董猛;范栋;习振华;吴翔民;管保国;张霄设计研发完成,并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于腔增强拉曼参考的光学干涉低真空测量装置在说明书摘要公布了:本申请涉及真空计量技术领域,具体而言,涉及一种基于腔增强拉曼参考的光学干涉低真空测量装置,包括测量参考光路系统、测量检测光路系统、腔增强拉曼检测光路系统以及频率计,其中:测量参考光路系统由参考光路组件和第一锁频电路组成;测量检测光路系统包括检测光路组件和第二锁频电路;腔增强拉曼检测光路系统与测量检测光路系统共用一套检测光路组件,腔增强拉曼检测光路系统还包括拉曼光谱检测组件;频率计设置在测量参考光路系统和测量检测光路系统之间。本申请在光学干涉低真空测量装置中引入腔增强拉曼检测技术,可以对未知气体种类进行定性检测以及对极性气体的压力进行检测。
本发明授权一种基于腔增强拉曼参考的光学干涉低真空测量装置在权利要求书中公布了:1.一种基于腔增强拉曼参考的光学干涉低真空测量装置,其特征在于,包括测量参考光路系统、测量检测光路系统、腔增强拉曼检测光路系统以及频率计,其中: 所述测量参考光路系统由参考光路组件和第一锁频电路组成,所述参考光路组件包括第一激光器、第一分束镜、第一光隔离器、第一偏振分束棱镜以及参考腔;所述第一锁频电路用于使所述第一激光器发射的参考激光在所述参考腔内保持谐振状态; 所述测量检测光路系统包括检测光路组件和第二锁频电路,所述检测光路组件包括第二激光器、第二分束镜、第二光隔离器、第二偏振分束棱镜以及检测腔;所述第二锁频电路用于使所述第二激光器发射的检测激光在所述检测腔内充气前后均保持谐振状态; 所述腔增强拉曼检测光路系统与所述测量检测光路系统共用一套检测光路组件,所述腔增强拉曼检测光路系统还包括拉曼光谱检测组件,所述拉曼光谱检测组件包括第三分束镜和光谱仪; 所述频率计设置在所述测量参考光路系统和所述测量检测光路系统之间,用于接收经过所述第一分束镜的参考激光以及经过所述第二分束镜的检测激光; 所述第二锁频电路包括第二光电探测器和第二锁频装置,其中: 所述第二光电探测器设置在所述检测腔的后方,用于接收所述检测腔的透射信号; 所述第二锁频装置用于接收所述第二光电探测器信号和所述第二偏振分束棱镜分束后的激光,使检测激光所述检测腔内充气前后均保持谐振状态; 所述第三分束镜设置在所述第二偏振分束棱镜与所述第二锁频装置之间。
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