北京理工大学李弘恺获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利纳米级金属薄膜厚度电涡流测量平台及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118936291B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411351491.4,技术领域涉及:G01B7/06;该发明授权纳米级金属薄膜厚度电涡流测量平台及方法是由李弘恺;卢杏浩;王金龙;张彤设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本纳米级金属薄膜厚度电涡流测量平台及方法在说明书摘要公布了:本公开提供了一种纳米级金属薄膜厚度电涡流测量平台及方法,能够降低动态测量过程中探头提离波动的影响,提高测量精度。该平台中探头夹持模块为非金属悬臂梁结构,其约束端固定在位移机构的移动结构上,自由端开设方孔以安装探头;约束端到自由端的宽度逐渐缩小;探头的封装下盖为与上述方孔配合的矩形;封装上盖开设有内芯的容纳槽;电涡流检测线圈放置在封装下盖内螺纹孔的底面,内芯压在电涡流检测线圈上,将封装上盖套在内芯上并插入封装下盖进行螺纹连接,直到内芯容纳槽内的限位部接触内芯,完成探头封装;旋转平台上安装微孔陶瓷真空吸盘以真空吸附金属薄膜;通过位移机构与旋转平台之间的运动配合实现金属薄膜表面不同点位的厚度测量。
本发明授权纳米级金属薄膜厚度电涡流测量平台及方法在权利要求书中公布了:1.一种纳米级金属薄膜厚度电涡流测量平台,其特征在于,包括:定位组件和真空吸附组件; 所述定位组件包括位移机构、旋转运动机构、探头夹持模块和探头; 探头夹持模块为非金属悬臂梁结构,一端为约束端,固定在位移机构的移动结构上;另一端为自由端,自由端开设方孔用于安装探头;约束端的宽度大于自由端,且通过梯形连接臂平滑连接; 探头包括封装下盖、封装上盖和内芯;所述封装下盖的外型为与探头夹持模块自由端方孔相配合的矩形,并开有与封装上盖外螺纹配合的内螺纹孔;封装上盖开设有与内芯配合的容纳槽,内芯插入容纳槽到位后露出部分作为电涡流检测线圈的压紧端;电涡流检测线圈放置在封装下盖内螺纹孔的底面,内芯压在电涡流检测线圈上,将封装上盖套在内芯上并插入封装下盖进行螺纹连接,直到内芯容纳槽内的限位部接触内芯,完成探头封装;探头开设有电涡流检测线圈的引线引出孔; 旋转运动机构提供旋转平台,旋转平台上安装真空吸附组件,采用微孔陶瓷真空吸盘实现对金属薄膜的真空吸附; 通过位移机构与旋转运动机构之间的运动配合实现金属薄膜表面不同点位的厚度测量。
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