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北京理工大学;北京空间机电研究所郝群获国家专利权

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龙图腾网获悉北京理工大学;北京空间机电研究所申请的专利一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118548822B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410671149.6,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置是由郝群;张少腾;阮宁娟;苏云;郑国宪;杨立欣;胡摇设计研发完成,并于2024-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置在说明书摘要公布了:一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置,既去除了使用子孔径拼接法对单子孔径检测时由于参考面精度有限引入的面形误差,提高了检测精度,又将双剪切平移法这一绝对检测技术扩展到大口径平面镜检测领域,扩大了其所能测量的镜面尺寸,降低了大口径平面镜检测过程中的装调难度。包括:1搭建测量装置;2对每个子孔径区域进行五次检测;3移动被测镜,使干涉仪出射光束依次覆盖其他未检测的子孔径区域,对所有子孔径区域进行步骤2;4重复步骤3,直至所有子孔径检测完毕;5利用基于离散相位数据的结构法,根据各子孔径的差分面形数据复原出各子孔径的面形;6拼接得到被测镜的全口径面形。

本发明授权一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种大口径镜面面形高精度检测方法,其特征在于:其包括以下步骤: 1搭建测量装置:将被测镜固定在平移装置上,调整干涉仪与被测镜的相对位置,使干涉仪与被测镜的中心在同一水平线上,且从干涉仪出射的光束覆盖被测镜的中心子孔径区域; 2令干涉仪光轴所在方向为z轴,首先进行一次检测,结果记为φx,y,利用平移装置对被测镜进行x轴、y轴正方向各两次的平移,单方向两次平移时的平移量分别为s1个像素和s2个像素所对应的空间距离,且s1和s2互质,每次平移后进行一次检测,得到四个位置的检测结果,分别记为φx+s1,y,φx+s2,y,φx,y+s1,φx,y+s2; 3移动被测镜,使从干涉仪出射的光束依次覆盖其他未检测的子孔径区域,对每个子孔径区域进行步骤2的五次检测; 4重复步骤3,直至所有子孔径均检测完毕; 5将各子孔径平移后的检测结果与平移前的检测结果相减,得到被测镜各子孔径的差分面形数据,利用基于离散相位数据的结构法,根据各子孔径的差分面形数据复原出被测镜各子孔径的面形; 6对复原出的各子孔径面形数据进行拼接,得到被测镜的全口径面形。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京理工大学;北京空间机电研究所,其通讯地址为:100081 北京市海淀区中关村南大街5号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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