安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司张德海获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆高效清洗设备及工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118522683B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410671320.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆高效清洗设备及工艺是由张德海;朱海锋;肖邦华设计研发完成，并于2024-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆高效清洗设备及工艺在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆高效清洗设备及工艺，包括清洗平台，所述清洗平台内部形成有清洗池，所述清洗池内部设置有用于抓取晶圆的抓取装置，所述抓取装置包括相对设置的上抓取组件以及下抓取组件，所述上抓取组件外侧套设有防护罩，所述防护罩包括防护主体和防护末端，所述防护末端朝着晶圆边缘处延伸，所述防护主体与上抓取组件之间形成防护室，所述防护室通过连通接头连接有气体泵送设备。该发明能够简化晶圆清洗步骤，提高清洗后晶圆表面的质量以及提高了晶圆清洗的效率。
本发明授权一种晶圆高效清洗设备及工艺在权利要求书中公布了：1.一种晶圆高效清洗设备，包括清洗平台100，所述清洗平台100内部形成有清洗池110，所述清洗池110内部设置有用于抓取晶圆300的抓取装置200，其特征在于： 所述抓取装置200包括相对设置的上抓取组件220以及下抓取组件210，所述上抓取组件220外侧套设有防护罩500，所述防护罩500包括防护主体510和防护末端520，所述防护末端520朝着晶圆300边缘处延伸，所述防护主体510与上抓取组件220之间形成防护室，所述防护室通过连通接头530连接有气体泵送设备；其中，上抓取组件220将晶圆300上端抓取后通过气体泵送设备持续泵送气体维持防护室内高压状态； 防护末端为圆环形，在上抓取组件抓取晶圆后防护末端与晶圆之间形成预定的环形间隙，气体从环形间隙处持续排出，持续向外的气流避免了清洁液体进入。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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