广西晶联光电材料有限责任公司黄誓成获国家专利权
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龙图腾网获悉广西晶联光电材料有限责任公司申请的专利一种新型ITO靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117902893B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410082789.3，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种新型ITO靶材的制备方法是由黄誓成;陆映东;梁盈祥;张倍维;宋春华;黄作;覃丽莉;莫斌设计研发完成，并于2024-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型ITO靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及ITO薄膜领域，具体公开了一种新型ITO靶材及其制备方法，靶材包括氧化铟和氧化锡，两种配比为90：10；制备方法包括以下步骤，分别在不同温度下煅烧不同配比的氧化铟和氧化锡，再将两种不同的混合粉体重新组合成氧化铟和氧化锡质量占比为90：10的第三种混合粉体，往第三种混合粉体中加入质量占比0.5％‑1％的添加剂，重新烧结。以该制备方法制出的ITO靶材显著减少了第二相，在显微组织图像中所占比例不超过5％，优化了靶材的导电性和溅射的均匀性。
本发明授权一种新型ITO靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种新型ITO靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤： 1将氧化铟和氧化锡的纳米粉末均匀地混合研磨，组成第一种混合粉体，其中氧化锡质量占比为43.9%‑45.9%，第一种混合粉体于第一设定温度煅烧，第一设定温度为1430℃‑1450℃； 2将氧化铟和氧化锡的纳米粉末均匀地混合研磨，组成第二种混合粉体，其中氧化锡质量占比5%‑7%，第二种混合粉体于第二设定温度煅烧，第二设定温度为800℃‑880℃； 3将上述两种混合粉体再次混合，确保其中氧化锡质量占比达到10%，然后往混合粉体中加入占混合粉体总质量0.5%‑1%的添加剂，并且均匀地混合研磨，添加剂包括氧化锆、氧化镓、氧化铌、氧化锑、氧化钽中的一种或多种； 4在上述混合粉体成型后，在氧气氛围中，于第三设定温度烧结，第三设定温度为1550℃‑1580℃，冷却后得到氧化铟和氧化锡配比为90：10的新型ITO靶材，在其显微组织中，第二相占比小于5%。
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