深圳市荣者光电科技发展有限公司吴波获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市荣者光电科技发展有限公司申请的专利用于Ⅲ代像增强器的微通道板的覆膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117393413B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311325872.0,技术领域涉及:H01J43/24;该发明授权用于Ⅲ代像增强器的微通道板的覆膜方法是由吴波;周强;张亚坤;方媛设计研发完成,并于2023-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于Ⅲ代像增强器的微通道板的覆膜方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于Ⅲ代像增强器的微通道板的覆膜方法,包括配置贴膜工装步骤、配置贴膜环境步骤、装载微通道板步骤、贴有机膜步骤、风干步骤、转运步骤和干燥步骤。通过上述方法,实现微通道板有机膜层无褶皱、破裂、水印,实现微通道板有机膜层合格率从20%提高至90%以上,有效地提升了微通道板制备有机掩膜质量及合格率,实现工业了的快速生产,并降低了产品生产成本。
本发明授权用于Ⅲ代像增强器的微通道板的覆膜方法在权利要求书中公布了:1.一种用于Ⅲ代像增强器的微通道板的覆膜方法,其特征在于,包括以下步骤: 配置贴膜工装,所述贴膜工装包括用于承载微通道板的载盘,调节载盘的倾斜角度为3‑4度;所述载盘的中心位置设置有限位槽,所述微通道板放置在该限位槽内;在所述限位槽与所述载盘的外侧面之间设置有导流凹槽,所述导流凹槽适于快速排出限位槽内的去离子水; 配置贴膜环境,将调试好的贴膜工装放置于一盛有去离子水的罐体的中心,缓慢控制去离子水的高度直至水面在载盘的支撑面的上方1cm; 装载微通道板,夹取微通道板的侧面并放置在所述贴膜工装上,使所述微通道板紧贴所述载盘; 贴有机膜,在微通道板中心区域的上方1cm处悬滴有机液,静置直至有机液展开形成无彩虹条纹的薄膜;缓慢排出罐体内的去离子水,去离子水的排水速率为1‑1.5Lmin,使所述薄膜从高到低、从上到下逐渐贴覆在微通道板和载盘上,直至完全覆盖整个微通道板和载盘; 风干,连同微通道板一起取出贴膜工装,使用氮气枪吹除微通道板与有机膜之间的去离子水; 转运,在载盘上安装上盖和手柄,将微通道板封闭在上盖与贴膜工装之间的密闭空间内;通过手柄将装有微通道板的载盘转移至真空干燥箱; 干燥,设定真空干燥箱的干燥温度和干燥时间,对微通道板上的有机膜进行干燥。
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