中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司沈一春获国家专利权
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龙图腾网获悉中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司申请的专利石英玻璃沉积装置、石英玻璃的制备方法以及石英玻璃获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117105513B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311067871.0，技术领域涉及：C03B19/14；该发明授权石英玻璃沉积装置、石英玻璃的制备方法以及石英玻璃是由沈一春;马祥;钱宜刚;汤明明;陈峰;陈娅丽;陈燕琳;康佳佳设计研发完成，并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本石英玻璃沉积装置、石英玻璃的制备方法以及石英玻璃在说明书摘要公布了：本发明提供了一种石英玻璃沉积装置、石英玻璃的制备方法以及石英玻璃。本发明的石英玻璃沉积装置，包括：由上炉体、下炉体相互连接成底端开口的炉体、沉积单元、第一喷灯以及第二喷灯；第一喷灯以及第二喷灯分别固定于上炉体的顶部；第一喷灯的第一喷射方向朝向沉积基底，且第一喷射方向与炉体的轴线具有夹角θ1，20°≤θ1≤40°，第一喷灯远离所述炉体内部的一端与轴线之间的垂直距离为20‑45mm；第二喷灯的第二喷射方向朝向沉积基底，且第二喷射方向与所述第一喷射方向之间具有夹角θ2，30°≤θ2≤60°。该石英玻璃沉积装置可以用于获得大尺寸的石英玻璃砣。
本发明授权石英玻璃沉积装置、石英玻璃的制备方法以及石英玻璃在权利要求书中公布了：1.一种石英玻璃沉积装置，其特征在于，包括：由上炉体、下炉体相互连接成底端开口的炉体、沉积单元、第一喷灯以及第二喷灯； 其中，所述炉体的侧壁具有排气孔； 所述沉积单元包括位于炉体内部的支撑杆和固定连接于所述支撑杆的顶部的沉积基底，其中所述支撑杆沿自身轴线旋转； 所述第一喷灯以及所述第二喷灯分别固定于所述上炉体的顶部，且均偏离所述炉体的轴线设置；所述第一喷灯的第一喷射方向朝向所述沉积基底，且所述第一喷射方向与所述炉体的轴线具有夹角θ1，20°≤θ1≤40°，所述第一喷灯远离所述炉体内部的一端与所述轴线之间的垂直距离为20‑45mm；所述第二喷灯的第二喷射方向朝向所述沉积基底，且所述第二喷射方向与所述第一喷射方向之间具有夹角θ2，30°≤θ2≤60°；其中，所述第一喷灯用于作为主沉积喷灯，所述第二喷灯用于作为辅助沉积喷灯，所述第一喷灯原料通入量大于第二喷灯。
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