宁波舜宇奥来技术有限公司邹锴获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波舜宇奥来技术有限公司申请的专利薄膜厚度测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223636808U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423182019.0，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型薄膜厚度测量装置是由邹锴;冯宝朋;郭贝;唐超宛;汪杰;陈远设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜厚度测量装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种薄膜厚度测量装置，包括载物台、镜头组件、信号光激光器、参考光激光器、光纤环形器及探测组件，载物台具有用于放置待测薄膜样品的承载面，镜头组件朝着承载面布置，信号光激光器用于发射信号脉冲光，参考光激光器用于发射重复频率与信号脉冲光不同的参考脉冲光，光纤环形器具有依次布置的第一端口、第二端口以及第三端口，第一端口连通于信号光激光器，第二端口连通于镜头组件，第三端口用于输出来自第二端口的回波脉冲光，探测组件具有与参考光激光器连通的第一入射端及与第三端口连通的第二入射端。如此组成的薄膜厚度测量装置具有高精度、较大的量程、多薄膜同时测量的优点，能够应用大规模量产项目。
本实用新型薄膜厚度测量装置在权利要求书中公布了：1.一种薄膜厚度测量装置，其特征在于，包括： 载物台，具有用于放置待测薄膜样品的承载面； 镜头组件，朝着所述承载面布置； 信号光激光器，用于发射信号脉冲光； 参考光激光器，用于发射重复频率与所述信号脉冲光不同的参考脉冲光； 光纤环形器，具有依次布置的第一端口、第二端口以及第三端口；所述第一端口连通于所述信号光激光器，用于接收经由所述信号光激光器发射的信号脉冲光；所述第二端口连通于所述镜头组件，用于输出信号脉冲光至所述镜头组件以投射至该待测薄膜样品，并接收经由该待测薄膜样品反射回的回波脉冲光；所述第三端口用于输出来自所述第二端口的回波脉冲光；以及 探测组件，具有与所述参考光激光器连通的第一入射端及与所述第三端口连通的第二入射端，所述探测组件用于接收该参考脉冲光和该回波脉冲光以测量该待测薄膜样品的厚度。
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