上海盛剑半导体科技有限公司张伟明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海盛剑半导体科技有限公司申请的专利一种真空泵获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223634914U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423125370.6，技术领域涉及：F04C29/12；该实用新型一种真空泵是由张伟明;王然设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空泵在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种真空泵，涉及半导体设备技术领域。真空泵包括泵体、连接管、排气管以及集尘组件。泵体的数量为至少两个，相邻两个泵体通过连接管连接；排气管设置于位于末级的泵体上；集成组件的数量为至少两个，其中至少一个集尘组件设置于连接管，至少一个集尘组件设置于排气管。通过在连接管和排气管处设置集尘组件，以通过集尘组件在连接管和排气管处可以收集气体中的粉尘等杂质，避免粉尘在连接处和排气管处堆积，从而避免粉尘在长时间堆积成大块颗粒结构后进入下一个泵体中导致泵体卡死，并避免因粉尘堆积导致排气管内径缩小甚至堵塞整个排气管，有效延长泵体的使用寿命，并确保了真空泵能够稳定运行。
本实用新型一种真空泵在权利要求书中公布了：1.一种真空泵，其特征在于，包括： 至少两个泵体100； 连接管200，相邻两个所述泵体100通过所述连接管200连接； 排气管300，所述排气管300设置于位于末级的所述泵体100上； 集尘组件400，所述集尘组件400的数量为至少两个，其中至少一个所述集尘组件400设置于连接管200，至少一个所述集尘组件400设置于所述排气管300。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海盛剑半导体科技有限公司，其通讯地址为：201000 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路1288号6幢JT2450室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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