上海盛剑半导体科技有限公司张伟明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海盛剑半导体科技有限公司申请的专利一种腔体组件及真空泵获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223634905U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423320812.2，技术领域涉及：F04C29/00；该实用新型一种腔体组件及真空泵是由张伟明;王然设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种腔体组件及真空泵在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种腔体组件及真空泵，涉及半导体设备技术领域。腔体组件包括多级腔体。多级腔体相连并形成用于容纳转子的腔室，相邻腔体之间形成有环绕腔室的第一隔离通道和用于将第一隔离通道隔断开的隔离部，相邻腔体还设有与第一隔离通道连通的进气通道和出气通道，出气通道和进气通道分别设在隔离部的两侧，进气通道向第一隔离通道通入隔离气体，以使隔离气体从隔离部的一侧沿第一隔离通道流经至隔离部的另一侧，并从出气通道排出，因此能够有效防止腔室内的工艺气体进入腔体之间的间隙并腐蚀密封件，确保了真空泵的气密性，也保障了真空泵的生产效率以及使用成本。
本实用新型一种腔体组件及真空泵在权利要求书中公布了：1.一种腔体组件10，其特征在于，包括多级腔体100，所述多级腔体100相连并形成用于容纳转子的腔室110，相邻所述腔体100之间形成有环绕所述腔室110的第一隔离通道120和用于将所述第一隔离通道120至少部分隔开的隔离部130，相邻所述腔体100还设有与所述第一隔离通道120连通的进气通道140和出气通道150，所述出气通道150和所述进气通道140分别设在隔离部130的两侧，所述进气通道140向所述第一隔离通道120通入隔离气体，以使所述隔离气体从所述隔离部130的一侧沿所述第一隔离通道120流经至所述隔离部130的另一侧，并从所述出气通道150排出。
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