上海通嘉宏盛半导体设备有限公司刘国莉获国家专利权
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龙图腾网获悉上海通嘉宏盛半导体设备有限公司申请的专利一种真空泵排气监测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223634862U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520327781.9，技术领域涉及：F04B39/12；该实用新型一种真空泵排气监测系统是由刘国莉;汪鹏;刘庆;费纲刚;季慧设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空泵排气监测系统在说明书摘要公布了：本公开提出一种真空泵排气监测系统，属于真空泵排气系统技术领域。真空泵排气监测系统包括：环形通道，设置于真空泵尾部排气管之间的连接接头，且环形通道具有进气口和排气口；第一密封件和第二密封件，分别设置于环形通道的两侧，且分别用于对排气管内腔和环形通道，以及环形通道和大气侧进行密封；进气管路和排气管路，分别与环形通道的进气口和排气口连接，且在进气管路和或排气管路设置有气体检测结构；惰性气体由进气管路进入至环形通道，再经排气管路排出，形成监测回路，通过气体检测结构的检测结果判断连接接头处是否发生气体泄漏，便于检测维修，延缓有害气体或可燃气体的泄漏，同时可延缓真空泵宕机停工的时间。
本实用新型一种真空泵排气监测系统在权利要求书中公布了：1.一种真空泵排气监测系统，其特征在于，所述系统包括： 环形通道，设置于真空泵尾部排气管之间的连接接头，且所述环形通道具有进气口和排气口； 第一密封件和第二密封件，分别设置于所述环形通道的两侧，且分别用于对所述排气管内腔和所述环形通道，以及所述环形通道和大气侧进行密封； 进气管路和排气管路，分别与所述环形通道的进气口和排气口连接，且在所述进气管路和或所述排气管路设置有气体检测结构； 惰性气体由所述进气管路进入至所述环形通道，再经所述排气管路排出，形成监测回路，通过所述气体检测结构的检测数据是否变化判断所述连接接头处是否发生气体泄漏。
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