北京华卓精科科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利保护设备及激光退火系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223633520U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423036832.7，技术领域涉及：C30B33/02；该实用新型保护设备及激光退火系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本保护设备及激光退火系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体分立器件和集成电路制造技术领域，尤其涉及一种保护设备及激光退火系统。其中，保护设备包括：喷气部件，喷气部件设有多个喷气孔，设于运动载台；吸气部件，吸气部件设有多个吸气孔，并设于运动载台，吸气部件和喷气部件沿第一方向相对设置，并围合出用于放置晶圆的隔离腔；惰性气体能够被喷气部件从喷气孔沿第一方向喷射至隔离腔内，并被吸气部件经吸气孔吸出，且在隔离腔形成能够覆盖晶圆的气帘，第一方向与运动载台的载物面平行。根据本实用新型的保护设备，隔离腔内可形成用于覆盖晶圆的气帘，防止晶圆退火时被氧气氧化，并且可持续地带走晶圆上的热量，防止晶圆局部热量积累，保证晶圆的加工质量。
本实用新型保护设备及激光退火系统在权利要求书中公布了：1.一种保护设备，其特征在于，所述保护设备包括： 喷气部件，所述喷气部件设有多个喷气孔，设于运动载台； 吸气部件，所述吸气部件设有多个吸气孔，并设于所述运动载台，所述吸气部件和所述喷气部件沿第一方向相对设置，并围合出用于放置晶圆的隔离腔； 所述喷气部件和所述吸气部件配置为，使得惰性气体能够被所述喷气部件从所述喷气孔沿所述第一方向喷射至所述隔离腔内，并被所述吸气部件经所述吸气孔吸出，且在所述隔离腔形成能够覆盖所述晶圆的气帘，所述第一方向与所述运动载台的载物面平行。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京华卓精科科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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