拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利喷淋头机构及外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223633518U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423252892.2，技术领域涉及：C30B25/14；该实用新型喷淋头机构及外延设备是由龙占勇;韩雪岭;李洪;刘定财;黄耿斌;林佳继设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋头机构及外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于CVD设备技术领域，公开了一种喷淋头机构及外延设备，喷淋头机构包括分气腔体、冷却底座以及进气管，分气腔体具有分气腔以及连通分气腔内外的出气孔；分气腔体设置于冷却底座上，冷却底座内设置有能够流通冷却流体的冷却流道，冷却流道具有的进口和出口；进气管穿设冷却底座，使进气管的出口置于分气腔内；冷却底座能够与分气腔体以及进气管换热；外延设备包括反应腔体以及上述的喷淋头机构，反应腔体设置有反应腔开口，喷淋头机构能够固定于反应腔体上，使出气孔经反应腔开口进入反应腔体内，进而通过冷却底座能够降低喷淋头的温度，尽可能降低反应气体提前反应的概率。
本实用新型喷淋头机构及外延设备在权利要求书中公布了：1.喷淋头机构，其特征在于，包括： 分气腔体1，所述分气腔体1具有分气腔以及连通所述分气腔内外的多个出气孔13； 冷却底座2，所述分气腔体1设置于冷却底座2上，所述冷却底座2内设置有能够流通冷却流体的冷却流道23，所述冷却流道23具有进口和出口，所述冷却流道23与所述分气腔隔离； 进气管3，所述进气管3穿设所述冷却底座2，使所述进气管3的出口置于所述分气腔内。
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