拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利散热组件、磁流体密封机构及外延系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223633514U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423155385.7,技术领域涉及:C30B25/12;该实用新型散热组件、磁流体密封机构及外延系统是由龙占勇;韩雪岭;李洪;刘定财;黄耿斌;刘群设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本散热组件、磁流体密封机构及外延系统在说明书摘要公布了:本实用新型属于CVD设备技术领域,公开了散热组件、磁流体密封机构及外延系统,散热组件包括冷却套以及散热管,冷却套设置有第一贯穿腔,第一贯穿腔的腔壁设置开设有第一槽,冷却套还设置有第一进液口和第一出液口,第一进液口与第一出液口通过设置于冷却套内的第一流道连通;散热管置于第一贯穿腔内,散热管的外壁设置有散热翼片,散热管能够套接于磁流体密封机构的旋转轴上,并随旋转轴旋转;磁流体密封机构及外延系统均包括上述散热组件,以降低旋转轴以及磁流体密封机构的温度。
本实用新型散热组件、磁流体密封机构及外延系统在权利要求书中公布了:1.散热组件,其特征在于,包括: 冷却套11,所述冷却套11设置有第一贯穿腔112,所述第一贯穿腔112的腔壁开设有第一槽113,所述冷却套11还设置有第一进液口114和第一出液口115,所述第一进液口114与所述第一出液口115通过设置于所述冷却套11内的第一流道116连通; 散热管12,所述散热管12置于所述第一贯穿腔112内,所述散热管12的外壁设置有散热翼片14,所述散热管12能够套接于磁流体密封机构的旋转轴22上,并随所述旋转轴22旋转。
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