江苏鲁汶仪器股份有限公司范思大获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利类金刚石薄膜低温沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223633461U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423290105.3，技术领域涉及：C23C16/517；该实用新型类金刚石薄膜低温沉积装置是由范思大;张帅;张孝蹯;陆杰;杨家强;崔虎山;许开东设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本类金刚石薄膜低温沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种类金刚石薄膜低温沉积装置，包括连通设置的微波解离腔室和射频解离腔室，所述微波解离腔室与工艺气体的气罐通过气体管路连通，所述微波解离腔室通过微波波导与微波源连接，所述射频解离腔室通过射频柱与射频电源的射频端口连接，所述射频解离腔室内设置有晶圆载台。本实用新型的类金刚石薄膜低温沉积装置，工艺气体的解离更充分，提高了沉积类金刚石薄膜的SP3键的含量，提高了沉积的类金刚石薄膜的硬度，且类金刚石薄膜沉积的均匀性更好。
本实用新型类金刚石薄膜低温沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种类金刚石薄膜低温沉积装置，其特征在于，包括连通设置的微波解离腔室和射频解离腔室，所述微波解离腔室与工艺气体的气罐通过气体管路连通，所述微波解离腔室通过微波波导与微波源连接，所述射频解离腔室通过射频柱与射频电源的射频端口连接，所述射频解离腔室内设置有晶圆载台。
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