拉普拉斯新能源科技股份有限公司朱诗亮获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利反应炉以及加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223633457U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423229403.1,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型反应炉以及加工设备是由朱诗亮;郭路斌;熊贤明设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应炉以及加工设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种反应炉以及加工设备,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了水平管式的等离子体增强化学气相沉积设备在抽取气体时容易出现飘片的技术问题。该反应炉包括:炉管组件,炉管组件沿第一水平方向延伸,炉管组件的一端具有至少一个抽气口,炉管组件还具有沿第一水平方向延伸的反应腔;至少一个抽气管,与炉管组件连接,并伸入反应腔,抽气管位于反应腔的顶部和或底部,抽气管沿第一水平方向延伸,并且,抽气管的侧壁具有沿第一水平方向依次排布的多个抽气孔。由于抽气管可以从舟结构的上方和或下方抽取反应腔内的气体,气流向上方或者下方运动,可以减少由于气流运动导致片状材料飘片的情况出现。
本实用新型反应炉以及加工设备在权利要求书中公布了:1.一种反应炉,其特征在于,包括: 炉管组件,所述炉管组件沿第一水平方向延伸,所述炉管组件的一端具有至少一个抽气口,所述炉管组件还具有沿所述第一水平方向延伸的反应腔,所述反应腔被配置为容纳舟结构,所述抽气口与所述反应腔连通,以能够通过所述抽气口抽取所述反应腔内的工艺气体; 至少一个抽气管,与所述炉管组件连接,并伸入所述反应腔,所述抽气管位于所述反应腔的顶部和或底部,所述抽气管沿所述第一水平方向延伸,并且,所述抽气管的侧壁具有沿所述第一水平方向依次排布的多个抽气孔,首个所述抽气孔位于所述反应腔的第一端,末尾的所述抽气孔位于所述反应腔的第二端,通过所述抽气孔能够抽取所述反应腔内的气体,使所述反应腔呈真空状态。
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