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广东振华科技股份有限公司吴振杰获国家专利权

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龙图腾网获悉广东振华科技股份有限公司申请的专利一种镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223633453U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423148595.3,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型一种镀膜装置是由吴振杰设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种镀膜装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种镀膜装置,涉及真空镀膜技术领域。镀膜装置包括真空室、支撑辊组、驱动机构、第一靶材和第二靶材,真空室配置有真空腔;支撑辊组设置于真空腔中,支撑辊组包括至少三个支撑辊,至少一个支撑辊与其他支撑辊分布设置于不同的直线上,支撑辊通过轴承转动安装于第一转轴上,第一转轴转动连接于真空室,至少三个支撑辊所连的第一转轴均与驱动机构传动连接,驱动机构用于驱动第一转轴转动;第一靶材设置于支撑辊组的一侧,第一靶材被配置为与镀膜工件的第一表面相对;第二靶材设置于至少三个支撑辊之间,第二靶材被配置为与镀膜工件的第二表面相对。本申请提供的镀膜装置可实现双面镀膜,并可降低对小张力控制的影响。

本实用新型一种镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种镀膜装置,其特征在于,包括真空室、支撑辊组、驱动机构、第一靶材和第二靶材,所述真空室配置有真空腔; 所述支撑辊组设置于所述真空腔中,所述支撑辊组包括至少三个支撑辊,至少一个所述支撑辊与其他所述支撑辊分布设置于不同的直线上,所述支撑辊通过轴承转动安装于第一转轴上,所述第一转轴转动连接于所述真空室,所述至少三个支撑辊所连的所述第一转轴均与所述驱动机构传动连接,所述驱动机构用于驱动所述第一转轴转动; 所述第一靶材设置于所述真空腔中,并位于所述支撑辊组的一侧,所述第一靶材被配置为与镀膜工件的第一表面相对; 所述第二靶材设置于所述真空腔中,并位于所述至少三个支撑辊之间,所述第二靶材被配置为与所述镀膜工件的第二表面相对。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东振华科技股份有限公司,其通讯地址为:526000 广东省肇庆市端州区肇庆大道南侧(8)区厂区北面1卡车间;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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