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龙图腾网获悉广东振华科技股份有限公司申请的专利一种靶间距调节装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223633451U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423322853.5，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种靶间距调节装置及镀膜设备是由冯荣达设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种靶间距调节装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及镀膜领域，公开了一种靶间距调节装置及镀膜设备，靶间距调节装置包括固定架、第一导柱、第二导柱、从动架、靶体、驱动组件，第一导柱滑动安装于固定架端部，且第一导柱两个端部位于固定架两侧，第二导柱滑动安装于固定架远离第一导柱方向的端部，从动架与第一导柱和第二导柱固定连接，靶体与第一导柱和第二导柱固定连接，驱动组件固定安装在从动架上，驱动组件用于驱动从动架和靶体朝向或背离固定架方向移动。本申请通过从动架和靶体通过第一导柱、第二导柱进行传动，使得靶体和从动架能够同步移动，驱动组件与固定架传动连接使得从动架朝向或背离固定架方向移动，从而实现靶体位置移动，进而改变靶体与镀膜基片之间的距离。

本实用新型一种靶间距调节装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种靶间距调节装置，其特征在于，包括： 固定架100； 第一导柱200，所述第一导柱200滑动安装于所述固定架100端部，且所述第一导柱200两个端部位于所述固定架100两侧； 第二导柱300，所述第二导柱300滑动安装于所述固定架100远离所述第一导柱200方向的端部，所述第一导柱200两个端部位于所述固定架100两侧； 从动架400，所述从动架400位于所述固定架100一侧，所述从动架400与所述第一导柱200和所述第二导柱300固定连接； 靶体500，所述靶体500位于所述固定架100远离所述从动架400方向一侧，所述靶体500与所述第一导柱200和所述第二导柱300固定连接； 驱动组件600，所述驱动组件600固定安装在所述从动架400上，所述驱动组件600与所述固定架100传动连接，所述驱动组件600用于驱动所述从动架400和所述靶体500朝向或背离所述固定架100方向移动。

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