广东振华科技股份有限公司朱宇彬获国家专利权
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龙图腾网获悉广东振华科技股份有限公司申请的专利一种低能量PVD镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223633446U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423179206.3，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种低能量PVD镀膜装置是由朱宇彬;张传勇;林之坚设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低能量PVD镀膜装置在说明书摘要公布了：一种低能量PVD镀膜装置，包括溅射阴极，溅射阴极装载有靶材，靶材与基片相对设置，靶材在溅射阴极的电场作用下产生膜料粒子；能量调节板，能量调节板位于基片与溅射阴极之间且具有过孔；碰撞粒子管道，碰撞粒子管道与碰撞粒子源连接，碰撞粒子源内部具有预设的惰性气体，碰撞粒子管道的出气端口设置在能量调节板上且输送的惰性气体朝向靶材的方向移动；惰性气体具有的动能小于膜料粒子具有的动能。由于惰性气体有相对固定的流动方向，并且与膜料粒子入射方向相反，通过弹性碰撞的能量交换，膜料粒子能量已从高能状态降到接近刚发出的气体粒子能量状态，因此获得了很低能量的膜料粒子，实现了稳定的低能量沉积镀膜。
本实用新型一种低能量PVD镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种低能量PVD镀膜装置，其特征在于，包括： 溅射阴极，所述溅射阴极用于产生电场且装载有靶材，所述靶材与待镀膜的基片相对设置，所述靶材在所述溅射阴极的电场作用下产生沿第一方向移动的膜料粒子，所述第一方向为朝向所述基片的方向； 能量调节板，所述能量调节板位于所述基片与所述溅射阴极之间且具有供所述膜料粒子通过的过孔； 碰撞粒子管道，所述碰撞粒子管道用于与一碰撞粒子源连接，所述碰撞粒子源内部具有预设的惰性气体，所述碰撞粒子管道的出气端口设置在所述能量调节板上且输送的惰性气体沿第二方向移动，所述第二方向为朝向所述靶材的方向，所述第一方向与所述第二方向之间具有预设角度，所述预设角度的范围是90°-270°；所述惰性气体具有的动能小于所述膜料粒子具有的动能。
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