浙江航威专用设备有限公司庞胜忠获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江航威专用设备有限公司申请的专利一种温度分区控制的蒸发源装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223633444U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422918466.1，技术领域涉及：C23C14/26；该实用新型一种温度分区控制的蒸发源装置是由庞胜忠设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种温度分区控制的蒸发源装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种温度分区控制的蒸发源装置，包括条形状的蒸发缸，蒸发缸内设有蒸发腔室，蒸发缸的上端开设有条形狭缝，条形狭缝与蒸发腔室连通并且条形狭缝沿着蒸发腔室的长度设置，蒸发腔室的底部设有支撑架，支撑架上设有坩埚，支撑架的上端开设有若干凹槽，凹槽位于坩埚的下方，凹槽的长度平行于蒸发腔室的长度，若干凹槽沿着蒸发腔室的长度方向间隔分布，凹槽内设有长度沿着凹槽设置的加热器件，凹槽的底部连接有贯穿蒸发缸底部的布线孔，在坩埚的下方分区设有若干的加热器件，每个加热器件单独进行控制，从而对坩埚进行分区加热，使蒸发源装置在其长度方向的镀层材料的蒸发速度不同，从而能够对板材上的镀膜厚度进行控制调整。
本实用新型一种温度分区控制的蒸发源装置在权利要求书中公布了：1.一种温度分区控制的蒸发源装置，其特征在于，包括条形状的蒸发缸1，所述蒸发缸1内设有蒸发腔室2，所述蒸发缸1的上端开设有条形狭缝3，所述条形狭缝3与蒸发腔室2连通并且条形狭缝3沿着蒸发腔室2的长度设置，所述蒸发腔室2的底部设有支撑架4，所述支撑架4上设有坩埚7，所述支撑架4的上端开设有若干凹槽5，所述凹槽5位于坩埚7的下方，所述凹槽5的长度平行于蒸发腔室2的长度，若干凹槽5沿着蒸发腔室2的长度方向间隔分布，所述凹槽5内设有长度沿着凹槽5设置的加热器件6，所述凹槽5的底部连接有贯穿蒸发缸1底部的布线孔8。
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