中润新能源(徐州)有限公司;江苏龙恒新能源有限公司赵方庭获国家专利权
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龙图腾网获悉中润新能源(徐州)有限公司;江苏龙恒新能源有限公司申请的专利一种清洁硅片的镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223633443U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422923442.5,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种清洁硅片的镀膜装置是由赵方庭;孙统光;徐振航设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洁硅片的镀膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于太阳能硅片制造技术领域,具体的说是一种清洁硅片的镀膜装置,包括真空镀膜箱,所述真空镀膜箱的内部设置有滑动推动结构和顶升结构,所述真空镀膜箱的内壁顶侧安装有蒸汽分流板,所述蒸汽分流板上连接有进料管,所述真空镀膜箱上连接有排气管,通过拉动手柄,能够带动两个支撑架向外滑动,硅片放置在拖拽至真空镀膜箱外部的支撑架上,保证承载视野清晰,放置稳定,且能够准确推送,能够保证硅片放置送料过程稳定,保证操作视野清晰,通过设置顶升结构,时通过托举杆进行举升,托举杆和绝缘垫位于硅片的底部,能够减少离子干扰,同时绝缘垫上不会沾染镀膜物,能够保证对绝缘垫的污染,以便后续的重复使用。
本实用新型一种清洁硅片的镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种清洁硅片的镀膜装置,其特征在于:包括: 真空镀膜箱1,所述真空镀膜箱1的内部设置有滑动推动结构和顶升结构,所述真空镀膜箱1的内壁顶侧安装有蒸汽分流板8,所述蒸汽分流板8上连接有进料管2,所述真空镀膜箱1上连接有排气管3,所述排气管3与外部的真空泵连接; 密封箱门4,所述真空镀膜箱1的端口处铰接安装有密封箱门4; 第二滑轨13,所述滑动推动结构包括第二滑轨13,两个第二滑轨13并列设置在真空镀膜箱1的底部箱壁上,所述第二滑轨13上滑动安装有滑块11,两个滑块11之间连接有连接杆10; 支撑架7,所述滑块11的顶部固定有支撑杆12,所述支撑杆12的顶部设置有滑槽,滑槽内滑动设置有第一滑轨9,所述第一滑轨9上安装有支撑架7,两个支撑架7之间连接有手柄5,硅片6设置在两个支撑架7之间; 支撑板16,所述顶升结构包括支撑板16,所述支撑板16上设置有伺服马达27,两个伺服马达27之间转动安装有双向丝杆17,其中伺服马达27的外侧安装有安装架26,所述安装架26的输出轴与双向丝杆17的一端连接。
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